一種鐵電存儲器的單元結構及其制備方法
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專利號：2021102648339已下證現有效
申請日：
發布日期：2025-09-10
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專利摘要
本發明提供了一種鐵電存儲器的單元結構及其制備方法，所述鐵電存儲器的單元結構包括襯底、兩個n+區、源極、漏極、第一氧化層、第二氧化層、第三氧化層、鐵電薄膜和柵極；襯底之上沉積有第一氧化層，在第一氧化層上刻蝕有第一矩形窗口以及第二矩形窗口，在第一矩形窗口以及第二矩形窗口處形成有兩個n+區、源極和漏極，在第一氧化層、源極和漏極之上沉積有第二氧化層，在第二氧化層中設置有第三矩形窗口，鐵電薄膜沉積在第三矩形窗口內，在第二氧化層以及鐵電薄膜之上沉積有第三氧化層，在第三氧化層之上沉積有柵極。本發明的鐵電存儲器的單元結構有助于提高鐵電場效應晶體管存儲器的保持性能，以期實現鐵電場效應晶體管存儲器的實用化。
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