熱電堆紅外探測器及其制備方法
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推薦指數(shù)
專利號：2017114002167專利權(quán)維持
申請日：
2017-12-21
發(fā)布日期：2025-12-19
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專利摘要
本發(fā)明提供了一種熱電堆紅外探測器及其制備方法，涉及熱電堆紅外探測器技術(shù)領(lǐng)域。熱電堆紅外探測器包括經(jīng)加工硅襯底，在經(jīng)加工硅襯底上設(shè)置的紅外吸收層，對經(jīng)加工硅襯底的中部進行圖形化及腐蝕化后形成的開口向下的背腔，背腔內(nèi)設(shè)置有金屬反射層。通過經(jīng)加工硅襯底、金屬反射層、紅外吸收層圍合形成一腔體，腔體即為光學諧振腔。紅外線通過透鏡聚焦到紅外吸收層，到達紅外吸收層的紅外線與經(jīng)過金屬反射層反射回來的紅外線在紅外吸收層剛好形成大約12光程差，從而形成駐波效應(yīng)，使得聚焦到熱端紅外吸收層的紅外線盡可能獲得吸收。極大提高紅外線吸收率，從而增大熱電堆紅外探測器的響應(yīng)率和探測率，極大降低熱電堆紅外探測器的噪聲等效溫差。
交易流程
01
免費咨詢
聯(lián)系客服享一對一免費咨詢服務(wù)02
需求匹配
精準匹配需求，不成功不收費03
確定購買
達成協(xié)議后按照約定支付賬款04
官方備案
按協(xié)議約定辦理官方備案手續(xù)05
交易完成
雙方完成協(xié)議約定即交易完成
過戶資料
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企業(yè)營業(yè)執(zhí)照 專利證書原件 |
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