上海交通大學張永獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海交通大學申請的專利基于拓撲慢光波導的薄膜鈮酸鋰電光調制器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117031851B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310915921.X,技術領域涉及:G02F1/21;該發明授權基于拓撲慢光波導的薄膜鈮酸鋰電光調制器是由張永;沈健;張磊;蘇翼凱設計研發完成,并于2023-07-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于拓撲慢光波導的薄膜鈮酸鋰電光調制器在說明書摘要公布了:一種基于拓撲慢光波導的薄膜鈮酸鋰電光調制器,包括:分段式電容型慢波電極和位于其上的一對平行設置的拓撲慢光波導,其中:拓撲慢光波導的兩端分別設有多模干涉儀,本發明通過拓撲慢光效應的引入,增強光與介質的相互作用,增大光傳輸的群折射率,大大提高調制器的調制效率,另一方面,由于拓撲慢光效應引入導致電光速度失配,使得關鍵指標調制帶寬受限。因此提出使用分段式電容型慢波電極,增大微波折射率,實現電光速度和阻抗的匹配,獲得超大的調制帶寬。
本發明授權基于拓撲慢光波導的薄膜鈮酸鋰電光調制器在權利要求書中公布了:1.一種基于拓撲慢光波導的電光調制器,其特征在于,包括:一對平行設置的拓撲慢光波導,每一條拓撲慢光波導兩側設有分段式電容型慢波電極,其中:拓撲慢光波導的兩端分別設有多模干涉儀; 所述的多模干涉儀包括:長方形多模干涉區以及分別設置于其兩端的輸入波導和輸出波導; 所述的拓撲慢光波導結構包括基于經典SSH模型的周期性空氣孔結構,在一個周期內存在兩個尺寸大小不一的空氣孔以調控光的群折射率大小; 所述的拓撲慢光波導包括:上包層、混合單模波導以及設置于混合單模波導中的周期性方形空氣孔結構,其中:方形空氣孔結構的每個周期包括兩個大小不同的方形空氣孔; 所述的混合單模波導是通過在鈮酸鋰絕緣氧化硅平臺LNOI上沉積氮化硅形成的,再通過刻蝕氮化硅得到拓撲慢光波導。
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