廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院仝怡獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院申請的專利一種套刻誤差補償模型參數配置方法及裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115933333B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310088349.4，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種套刻誤差補償模型參數配置方法及裝置是由仝怡;韋亞一;張利斌設計研發完成，并于2023-01-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種套刻誤差補償模型參數配置方法及裝置在說明書摘要公布了：本申請公開了一種套刻誤差補償模型參數配置方法及裝置，根據預設的參數數量選擇套刻誤差補償模型中的模型參數，獲得配置后的套刻誤差補償模型。對套刻誤差量測數據、配置后的模型和配置后的模型的參數值進行計算，以獲取表征量，并將表征量和套刻誤差量測數據進行求差處理，獲得表征殘值。將表征殘值進行歸一化處理，獲得配置后模型的評價參數。根據預設的參數數量選擇不同的模型參數，以獲取配置后的模型的集合，并對配置后的模型的集合進行迭代處理，獲得評價參數集合。根據評價參數集合中最小的評價參數，獲得優化后的套刻誤差補償模型。評價參數最小的模型參數配置最優，針對性的提高了模型的補償精度。
本發明授權一種套刻誤差補償模型參數配置方法及裝置在權利要求書中公布了：1.一種套刻誤差補償模型參數配置方法，其特征在于，所述方法包括： 根據預設的參數數量選擇套刻誤差補償模型中的模型參數，獲得配置后的套刻誤差補償模型； 對套刻誤差量測數據、所述配置后的套刻誤差補償模型和所述配置后的套刻誤差補償模型的參數值進行計算，以獲取所述配置后的套刻誤差補償模型的表征量，并將所述套刻誤差量測數據和所述表征量進行求差處理，獲得表征殘值； 對所述表征殘值進行歸一化處理，獲得所述配置后的套刻誤差補償模型的評價參數； 根據預設的參數數量選擇不同的所述模型參數，以獲取所述配置后的套刻誤差補償模型的集合，并對所述配置后的套刻誤差補償模型的集合進行迭代處理，獲得所述配置后的套刻誤差補償模型的評價參數集合； 根據所述評價參數集合中最小的評價參數，獲得優化后的套刻誤差補償模型。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院，其通訊地址為：510535 廣東省廣州市開發區開源大道136號A棟；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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