買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉佳能特機(jī)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利成膜裝置、膜厚測(cè)量方法以及電子器件的制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116180037B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211437735.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/56；該發(fā)明授權(quán)成膜裝置、膜厚測(cè)量方法以及電子器件的制造方法是由緒方俊宏;安川英宏;千葉伶太;瀧田裕一設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-11-17向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本成膜裝置、膜厚測(cè)量方法以及電子器件的制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供將作為膜厚的測(cè)量對(duì)象的基板的形狀維持為恒定的成膜裝置、膜厚測(cè)量方法以及電子器件的制造方法。成膜裝置對(duì)基板進(jìn)行成膜。測(cè)量部件測(cè)量形成于基板的膜的厚度。靜電卡盤利用靜電力吸附基于測(cè)量部件測(cè)量的測(cè)量對(duì)象的基板。移動(dòng)部件使靜電卡盤移動(dòng)，以避免在測(cè)量部件的測(cè)量對(duì)象的基板的搬送中基板與靜電卡盤接觸。

本發(fā)明授權(quán)成膜裝置、膜厚測(cè)量方法以及電子器件的制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種成膜裝置，其特征在于， 該成膜裝置具備： 第一成膜塊； 第二成膜塊；以及 連結(jié)裝置，連結(jié)所述第一成膜塊和所述第二成膜塊， 所述第一成膜塊和所述第二成膜塊分別具備： 搬送室，配置有搬送基板的搬送機(jī)器人；以及 多個(gè)成膜室，以包圍所述搬送室的周圍的方式配置，對(duì)基板進(jìn)行成膜， 所述連結(jié)裝置具備用于進(jìn)行從所述第一成膜塊向所述第二成膜塊搬送的基板的交接的交接室， 所述交接室具備： 測(cè)量部件，通過對(duì)形成于基板的膜照射光而測(cè)量膜厚； 靜電卡盤，利用靜電力吸附基于所述測(cè)量部件測(cè)量的測(cè)量對(duì)象的基板；以及 移動(dòng)部件，使所述靜電卡盤沿鉛垂方向在第一位置與第二位置之間移動(dòng)，所述第一位置是利用所述測(cè)量部件測(cè)量膜的厚度的位置，所述第二位置是避免所述測(cè)量部件的測(cè)量對(duì)象的基板的搬送過程中的基板與所述靜電卡盤的接觸的位置。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人佳能特機(jī)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本新瀉縣；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。