上海芯元基半導體科技有限公司郝茂盛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海芯元基半導體科技有限公司申請的專利RGB陣列芯片制備方法及芯片獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115602766B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211317293.7,技術領域涉及:H10H20/81;該發明授權RGB陣列芯片制備方法及芯片是由郝茂盛;陳朋;袁根如;張楠;馬后永;馬艷紅;岑崗;魏帥帥設計研發完成,并于2022-10-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本RGB陣列芯片制備方法及芯片在說明書摘要公布了:本發明涉及芯片制備領域,公開了一種RGB陣列芯片制備方法及芯片,通過本發明所公布的RGB陣列芯片制備方法所制備的RGB陣列芯片中,通過單一外延結構、綠光以及紅光量子點的模式,直接做出一顆RGB陣列芯片,該RGB陣列芯片能與對應顯示模塊直接完成線路連接及封裝,使得micro全彩LED芯片集成方案效率大幅提升,大幅降低了全彩micro的顯示成本。
本發明授權RGB陣列芯片制備方法及芯片在權利要求書中公布了:1.一種RGB陣列芯片制備方法,其特征在于,包括: S1:提供一DPSS襯底,所述DPSS襯底包括生長基底以及位于所述生長基底上的圖形化的掩膜層,并在所述DPSS襯底的圖形化的掩膜層上進行外延生長,形成外延層;所述外延層包括由下往上依次形成在所述DPSS襯底上的過渡層、N型外延層、發光層以及P型外延層; S2:在所述外延層上進行刻蝕,以在所述外延層上形成多個臺階并形成第一溝槽;所述第一溝槽貫穿所述外延層以及所述掩膜層直至所述生長基底,以形成多個LED像素單元; S3:在所述臺階上制備第一導電層,以及在所述第一導電層上制備第一P電極; S4:將所述第一P電極粘合至一臨時基板上,并去除所述生長基底; S5:對所述外延層進行減薄處理; S6:將減薄后的外延層與一二次襯底鍵合; S7:對所述二次襯底進行刻蝕,以在所述二次襯底上形成第二溝槽;所述第二溝槽的位置與所述外延層上的第一溝槽的位置相錯開; S8:在所述第二溝槽的內壁上制備反射鏡,并在所述第二溝槽內填充量子點材料; S9:去除所述臨時基板; S10:在所述N型外延層的側面和所述發光層的側面制備若干第一N電極; S11:提供一CMOS基板,所述CMOS基板上包括若干第二P電極以及若干第二N電極;并將所述第一P電極與所述第二P電極對應鍵合,第一N電極與所述第二N電極對應鍵合,得到RGB陣列芯片。
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