湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司房育濤獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司申請的專利半導(dǎo)體器件及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115498020B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202211327296.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D62/10;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件及其制造方法是由房育濤;劉庭;付汝起;葉念慈;張潔設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-10-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本半導(dǎo)體器件及其制造方法在說明書摘要公布了:本公開涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法,該半導(dǎo)體器件包括:襯底;半導(dǎo)體層,其設(shè)置在襯底上并包括第一半導(dǎo)體疊層和設(shè)置在第一半導(dǎo)體疊層上的第二半導(dǎo)體層,第一半導(dǎo)體疊層和第二半導(dǎo)體層之間的界面處形成有二維電子氣;設(shè)置在第二半導(dǎo)體層上且間隔布置的源極、漏極和柵極;金屬層,其設(shè)置半導(dǎo)體層內(nèi)并位于襯底與二維電子氣之間;電連接結(jié)構(gòu),其從柵極向半導(dǎo)體層內(nèi)延伸并與金屬層連接;第一阻隔結(jié)構(gòu),其至少部分地設(shè)在金屬層與二維電子氣之間及電連接結(jié)構(gòu)與二維電子氣之間;第二阻隔結(jié)構(gòu),與第一阻隔結(jié)構(gòu)相連且覆蓋在金屬層的側(cè)面。該半導(dǎo)體器件能夠有效降低HEMT器件高電壓下柵極的電場強度,從而提高器件的擊穿電壓。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,包括: 襯底; 半導(dǎo)體層,其設(shè)置在襯底上,所述半導(dǎo)體層包括:第一半導(dǎo)體疊層和設(shè)置在第一半導(dǎo)體疊層上的第二半導(dǎo)體層;所述第一半導(dǎo)體疊層和第二半導(dǎo)體層之間的界面處形成有二維電子氣; 設(shè)置在第二半導(dǎo)體層上且間隔布置的源極、漏極和柵極; 金屬層,其設(shè)置半導(dǎo)體層內(nèi)并位于所述襯底與二維電子氣之間; 電連接結(jié)構(gòu),其從所述柵極向所述半導(dǎo)體層內(nèi)延伸并與所述金屬層連接,用于將所述金屬層電連接至所述柵極; 第一阻隔結(jié)構(gòu),設(shè)置在所述金屬層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè),用于將所述金屬層和所述電連接結(jié)構(gòu)與所述二維電子氣進(jìn)行絕緣性隔離; 第二阻隔結(jié)構(gòu),與所述第一阻隔結(jié)構(gòu)相連且覆蓋在所述金屬層的側(cè)面,其中,所述側(cè)面與所述金屬層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)相鄰。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司,其通訊地址為:410000 湖南省長沙市長沙高新開發(fā)區(qū)長興路399號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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