深圳大學鄭壯豪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳大學申請的專利一種超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜及其制備方法與應用獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114530545B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210146441.7,技術領域涉及:H10N10/01;該發明授權一種超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜及其制備方法與應用是由鄭壯豪;張棟梁;陳躍星設計研發完成,并于2022-02-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜及其制備方法與應用在說明書摘要公布了:本發明公開一種超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜及其制備方法與應用,其中,所述超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜的制備方法包括步驟:提供柔性襯底;采用Cu2Se合金靶材和Cu靶材,在所述柔性襯底上進行磁控共濺射,然后進行熱處理,制備得到超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜,其中,x的取值范圍為0.5~2.5。本發明采用Cu2Se合金靶材和Cu靶材,利用磁控共濺射方法,在耐高溫的柔性襯底上制備出具有超高0l0取向及優異熱電性能的柔性CuxSe熱電薄膜。本發明提供的制備方法操作簡便、成本低、易于控制熱電薄膜成分和熱電薄膜生長取向,制備得到的柔性CuxSe熱電薄膜質量高、熱電性能好、重復性好、可實現大面積產業化生產。
本發明授權一種超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜及其制備方法與應用在權利要求書中公布了:1.一種超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜的制備方法,其特征在于,包括步驟: 提供柔性襯底; 采用Cu2Se合金靶材和Cu靶材,在所述柔性襯底上進行磁控共濺射,然后進行熱處理,制備得到所述超高擇優取向柔性CuxSe熱電薄膜,其中,x的取值范圍為0.5~2.5,所述CuxSe熱電薄膜具有(0l0)取向。
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