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龍圖騰網(wǎng)獲悉細(xì)美事有限公司申請的專利基板處理設(shè)備和基板支撐單元獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114628215B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111384124.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)基板處理設(shè)備和基板支撐單元是由孫亨圭;安宗煥;曺在玄;裵珉槿;金東奭;金鉉珪;O·嘉爾斯蒂安;李元碩;金成帝設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-11-15向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基板處理設(shè)備和基板支撐單元在說明書摘要公布了：本發(fā)明構(gòu)思涉及一種設(shè)置在用于使用等離子體處理基板的設(shè)備中的基板支撐單元。在一個實施例中，所述基板支撐單元包括：其上放置所述基板的電介質(zhì)板、設(shè)置在所述電介質(zhì)板下方并具有第一直徑的下電極、將RF功率施加到所述下電極并具有第二直徑的電源桿、以及設(shè)置在所述下電極下方并通過絕緣構(gòu)件與所述下電極間隔開第一間隙的接地構(gòu)件，所述接地構(gòu)件包括板部分，在所述板部分中形成有供所述電源桿所穿過的通孔，其中所述通孔具有第三直徑。

本發(fā)明授權(quán)基板處理設(shè)備和基板支撐單元在權(quán)利要求書中公布了：1.一種設(shè)置在使用等離子體處理基板的設(shè)備中的基板支撐單元，所述基板支撐單元包括： 電介質(zhì)板，所述基板放置在所述電介質(zhì)板上； 下電極，所述下電極設(shè)置在所述電介質(zhì)板的下方，所述下電極具有第一直徑； 電源桿，所述電源桿被配置為向所述下電極施加RF功率，所述電源桿具有第二直徑；以及 接地構(gòu)件，所述接地構(gòu)件設(shè)置在所述下電極的下方并且通過絕緣構(gòu)件與所述下電極間隔開第一間隙，所述接地構(gòu)件包括板部分，在所述板部分中形成有供所述電源桿穿過的通孔，其中所述通孔具有第三直徑， 其中所述下電極包括從所述下電極的下表面的中心向下延伸并具有朝向底部減小的直徑的變形部分，并且所述電源桿聯(lián)接到所述變形部分的端部部分。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人細(xì)美事有限公司，其通訊地址為：韓國忠清南道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。