無錫華瑛微電子技術有限公司溫子瑛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉無錫華瑛微電子技術有限公司申請的專利流體處理裝置、流體處理方法和半導體處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116078242B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111315885.0，技術領域涉及：B01F33/40；該發明授權流體處理裝置、流體處理方法和半導體處理系統是由溫子瑛設計研發完成，并于2021-11-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本流體處理裝置、流體處理方法和半導體處理系統在說明書摘要公布了：本發明提供了一種流體處理裝置、方法和半導體處理系統。所述流體處理裝置包括：至少兩個旋轉閥，每個旋轉閥均包括一個共有通孔和多個可選通孔，每個旋轉閥的多個可選通孔中有一個可選通孔通過管線與氣體口連通，和或有一個可選通孔通過管線與樣品引入口連通，和或有一個通過管線與清洗溶液口連通，其中有一個旋轉閥的一個可選通孔通過管線與樣品引出口連通；流體容器，其內部形成有腔體，其頂部開設有多個通孔，其底部設有一個或多個通孔，其中位于頂部的一個通孔通過管線與其中一個旋轉閥的共有通孔連通，位于底部的一個通孔通過管線與其中另一個旋轉閥的共有通孔連通。其能夠自動實現對不同液體樣品的精確的充分的混合，并且易于清洗。
本發明授權流體處理裝置、流體處理方法和半導體處理系統在權利要求書中公布了：1.一種流體處理裝置，其特征在于，其包括： 管線； 至少兩個旋轉閥，每個旋轉閥均包括一個共有通孔和多個可選通孔，通過旋轉所述旋轉閥能夠將所述共有通孔與多個可選通孔中的一個可選通孔通過內部通路連通，每個旋轉閥的多個可選通孔中有一個可選通孔通過管線與氣體口連通以接收氣體，和或有一個可選通孔通過管線與樣品引入口連通以接收液體樣品，和或有一個通過管線與清洗溶液口連通以接收清洗溶液，其中有一個旋轉閥的一個可選通孔通過管線與樣品引出口連通以排出液體樣品；和 流體容器，其內部形成有腔體，其頂部開設有與所述腔體連通的一個或多個通孔，其底部設有與所述腔體連通的一個或多個通孔，其中位于頂部的一個通孔通過管線與其中一個旋轉閥的共有通孔連通，位于底部的一個通孔通過管線與其中另一個旋轉閥的共有通孔連通。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫華瑛微電子技術有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新區震澤路18號國家軟件園3期鯨魚座A棟1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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