瑤芯微電子科技(上海)有限公司王青松獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉瑤芯微電子科技(上海)有限公司申請的專利一種MEMS麥克風結構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114697840B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011642749.8，技術領域涉及：H04R19/00；該發明授權一種MEMS麥克風結構是由王青松設計研發完成，并于2020-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種MEMS麥克風結構在說明書摘要公布了：本發明提供一種MEMS麥克風結構，包括振膜、背極、背板、一中心聲孔及多個外圍聲孔，其中，背極位于振膜上方，并在垂直方向上與背極間隔預設距離以形成氣隙；背板的至少一部分連接于背極的上表面以支撐背極；中心聲孔位于背極的中心，并在垂直方向上貫穿背極與背板；多個外圍聲孔分布于中心聲孔的外圍，并以中心聲孔為中心呈同心圓分布，背極的邊緣不經過任意一外圍聲孔。本發明優化了聲孔的排列分布方式，可以較容易控制背極邊緣位于兩圈呈同心圓分布的外圍聲孔之間，而不與開有聲孔的背板部位相交，從而有效減小背極邊緣與背板交界處的應力集中，避免其容易受到應力集中作用的部分產生裂紋而損壞，從而提高了MEMS麥克風的機械可靠性。
本發明授權一種MEMS麥克風結構在權利要求書中公布了：1.一種MEMS麥克風結構，其特征在于，包括： 振膜； 背極，位于所述振膜上方，并在垂直方向上與所述振膜間隔預設距離以形成氣隙； 背板，所述背板的至少一部分連接于所述背極的上表面以支撐所述背極； 一中心聲孔，位于所述背極的中心，并在垂直方向上貫穿所述背極與所述背板； 多個外圍聲孔，分布于所述中心聲孔的外圍，并以所述中心聲孔為中心呈同心圓分布，至少一所述外圍聲孔在水平面上的投影位于所述背極所在區域，并在垂直方向上貫穿所述背極與所述背板，至少一所述外圍聲孔在水平面上的投影位于所述背極所在區域以外，并在垂直方向上貫穿所述背板，所述背極的邊緣與所述背板交界處不經過任意一所述外圍聲孔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人瑤芯微電子科技(上海)有限公司，其通訊地址為：201207 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區芳春路400號1幢3層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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