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龍圖騰網(wǎng)獲悉MKS儀器有限公司申請的專利脈沖雙向射頻源/負載獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115172130B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210824403.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)脈沖雙向射頻源/負載是由亞倫·T·瑞多姆斯基;凱·盧;拉里·J·菲斯克二世;R·萊因哈特;馬修·G·哈林頓;哈米西·魯格胡努尼多;杰西·N·克萊因;亞倫·M·貝里設(shè)計研發(fā)完成，并于2018-05-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本脈沖雙向射頻源/負載在說明書摘要公布了：提供了脈沖雙向射頻源負載。射頻電源系統(tǒng)包括主RF發(fā)生器和輔助RF發(fā)生器，其中每個發(fā)生器輸出相應(yīng)的RF信號。主RF發(fā)生器還將RF控制信號輸出到輔助RF發(fā)生器，并且由輔助RF發(fā)生器輸出的RF信號根據(jù)RF控制信號而改變。輔助RF發(fā)生器接收指示由主RF發(fā)生器和輔助RF發(fā)生器輸出的相應(yīng)RF信號的電特性的感測信號。輔助RF發(fā)生器確定RF信號之間的相位差。所感測的電特性和相位獨立地或協(xié)作地被使用以控制由輔助RF發(fā)生器輸出的RF信號的相位和振幅。輔助發(fā)生器包括電感箝位電路，其將所反射的能量從耦合網(wǎng)絡(luò)返回到可變電阻負載。

本發(fā)明授權(quán)脈沖雙向射頻源/負載在權(quán)利要求書中公布了：1.一種RF系統(tǒng)，包括： 第一RF發(fā)生器，連接到負載的第一電極，所述第一RF發(fā)生器配置成向所述第一電極產(chǎn)生第一RF信號； 第二RF發(fā)生器，連接到負載的第二電極，所述第二RF發(fā)生器配置成向所述第二電極產(chǎn)生第二RF信號，其中所述第一RF發(fā)生器和所述第二RF發(fā)生器向所述第一電極和所述第二電極提供相應(yīng)的RF電壓；以及 控制器，配置成控制所述第二RF發(fā)生器，所述控制器向所述第一RF發(fā)生器和所述第二RF發(fā)生器中的至少一個產(chǎn)生控制信號， 其中，所述第一RF發(fā)生器和所述第二RF發(fā)生器配置成根據(jù)從所述第一RF發(fā)生器傳遞到所述第二RF發(fā)生器的RF控制信號，以相同的頻率操作， 其中，所述第二RF發(fā)生器配置成經(jīng)由第二數(shù)字通信端口將請求傳遞到所述第一RF發(fā)生器以請求所述第二RF信號的脈動的調(diào)節(jié)，并且所述第一RF發(fā)生器配置成改變施加到所述第二RF發(fā)生器的脈沖控制信號以調(diào)節(jié)所述第二RF信號的脈動，并且 其中所述第二RF發(fā)生器進一步包括： 第一傳感器，配置成檢測所述第一RF信號的至少一個第一電特性，并根據(jù)所述至少一個第一電特性來產(chǎn)生第一傳感器輸出信號； 功率放大器；以及 DC發(fā)生器，配置成將DC電壓輸出到所述功率放大器， 其中所述控制器配置成接收所述至少一個第一電特性，所述控制器配置成確定所述DC發(fā)生器的設(shè)定點，并且所述控制器配置成產(chǎn)生根據(jù)所述設(shè)定點而變化的DC控制信號并將所述DC控制信號傳遞到所述DC發(fā)生器以改變所述DC電壓。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人MKS儀器有限公司，其通訊地址為：美國馬薩諸塞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。