應用材料公司保羅·B·路透獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利電子裝置制造設備、系統和方法中的裝載端口操作獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116825665B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310708011.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權電子裝置制造設備、系統和方法中的裝載端口操作是由保羅·B·路透設計研發完成，并于2018-01-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本電子裝置制造設備、系統和方法中的裝載端口操作在說明書摘要公布了：一種電子裝置制造系統可包括具有受控環境的工廠接口。電子裝置制造系統也可包括耦接到工廠接口的裝載端口。裝載端口可被配置為在其上接收基板載體，且可包括凈化設備和控制器。控制器可被配置為操作裝載端口，使得定位在基板載體門與裝載端口周圍和之間的任何空氣至少部分地或完全地被凈化掉，因此減少或防止在由裝載端口開啟基板載體門之后污染受控的環境。也提供了操作工廠接口裝載端口的方法以及其他的方面。
本發明授權電子裝置制造設備、系統和方法中的裝載端口操作在權利要求書中公布了：1.一種電子裝置制造系統的工廠接口的裝載端口，所述裝載端口包括： 凈化設備； 對接盤，被配置為接收基板載體，所述基板載體包括基板載體門和基板載體外殼； 背板，定位在所述對接盤附近； 載體開門器，被配置為在所述載體開門器關閉時密封所述背板中的開口，所述載體開門器包括從所述載體開門器穿過的入口氣流線路，所述入口氣流線路耦接到所述凈化設備；和 控制器，所述控制器被配置為： 將所述基板載體對接到所述對接盤，使得環形空間與在所述基板載體外殼與所述背板載體開門器之間的間隙流體連通； 經由所述入口氣流線路來啟動凈化所述基板載體的所述基板載體門與所述裝載端口的所述載體開門器周圍和之間的區域一段時間，其中所述區域包括所述環形空間、所述間隙和所述基板載體門和所述載體開門器之間的空間； 響應于所述一段時間期滿，而停用凈化所述基板載體門和所述載體開門器之間的所述區域；和 通過所述對接盤朝向所述背板移動所述基板載體，以允許側夾具接合所述基板載體及抵著所述裝載端口的所述背板擠壓所述基板載體。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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