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龍圖騰網獲悉北京華卓精科科技股份有限公司申請的專利一種氣液抽取分離裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113363178B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011450195.1，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種氣液抽取分離裝置是由曹紅波;夏廣寶;周二虎設計研發完成，并于2020-12-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種氣液抽取分離裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種氣液抽取分離裝置及光刻機，涉及半導體加工設備領域，為解決現有的氣液抽取分離裝置無法滿足光刻機不同工況下的氣液抽取分離需求的問題而設計。該氣液抽取分離裝置用于光刻機，包括控制模塊和多組氣液抽取分離模塊，多組氣液抽取分離模塊分別配置為抽取分離不同的氣液混合體；氣液抽取分離模塊包括通過管路依次連接的真空吸附頭、通斷閥和氣液分離箱，真空吸附頭被配置為抽取氣液混合體；控制模塊被配置為控制氣液抽取分離模塊工作；氣液分離箱被配置為對氣液混合體進行氣液分離。該光刻機包括上述氣液抽取分離裝置。本發明提供的氣液抽取分離裝置及光刻機滿足了不同工況下的氣液分離需求。

本發明授權一種氣液抽取分離裝置在權利要求書中公布了：1.一種氣液抽取分離裝置，其特征在于，用于光刻機，所述氣液抽取分離裝置包括控制模塊（100）和氣液抽取分離模塊，多組所述氣液抽取分離模塊分別配置為抽取分離不同的氣液混合體；其中，所述氣液抽取分離模塊包括通過管路依次連接的真空吸附頭、通斷閥和氣液分離箱（400），所述真空吸附頭被配置為抽取氣液混合體；所述控制模塊（100）被配置為控制各組所述氣液抽取分離模塊工作；所述氣液分離箱（400）被配置為對所述氣液混合體進行氣液分離，各組所述氣液抽取分離模塊共用所述氣液分離箱（400）；所述氣液抽取分離模塊設置有兩組，分別為第一氣液抽取分離模塊和第二氣液抽取分離模塊，其中，所述第一氣液抽取分離模塊被配置為抽取分離所述光刻機的吸盤的殘存浸沒液及氣泡，所述第二氣液抽取分離模塊被配置為抽取分離所述光刻機的橋接臺的殘存浸沒液及氣泡； 所述氣液分離箱（400）包括具有容納腔的箱體（410）和設置于所述容納腔的隔板（420），所述隔板（420）將所述容納腔分隔為相連通的第一腔室（430）和第二腔室（440），其中，各組所述氣液抽取分離模塊的管路出口與所述第一腔室（430）直接連通，所述隔板（420）位于由所述管路出口流出的氣液混合體的流動路徑上；所述第二腔室（440）連通有出氣口和出液口（443），所述出氣口位于所述出液口（443）的上方； 所述隔板（420）的兩側邊分別與所述箱體（410）的兩個側壁相間隔，用于使所述第一腔室（430）內的氣液混合體能夠經所述隔板（420）的兩側流入所述第二腔室（440）；所述隔板（420）配置為被進入所述第一腔室（430）的所述氣液混合體撞擊以改變所述氣液混合體的運動路徑并實現氣液兩相的分離。

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