蘇州晶湛半導體有限公司程凱獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州晶湛半導體有限公司申請的專利一種石墨盤獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116368604B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080106823.6，技術領域涉及：C23C16/458；該發明授權一種石墨盤是由程凱;張麗旸設計研發完成，并于2020-11-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種石墨盤在說明書摘要公布了：本申請提供了一種石墨盤，以解決現有技術中利用石墨盤進行材料外延生長時所得到的外延片的性能均一性差的問題。石墨盤包括石墨盤本體，石墨盤本體包括凹槽和位于凹槽底壁上的多個凸起，多個凸起將凹槽劃分為彼此獨立的多個區域。根據本申請提供的石墨盤，利用凸起在凹槽中限定出多個區域，每個區域將對應一個襯底，不同區域之間彼此互通，相比于現有技術中一個凹槽對應一個襯底的石墨盤結構而言，增大了氣體流通空間，緩解了由于氣流原因導致的邊緣偏厚問題。
本發明授權一種石墨盤在權利要求書中公布了：1.一種石墨盤，其特征在于，包括石墨盤本體，所述石墨盤本體包括凹槽和位于所述凹槽底壁上的多個凸起，所述多個凸起將所述凹槽劃分為彼此獨立的多個區域，所述凹槽在所述石墨盤本體上的正投影的邊緣包括至少一個弧形段，每個所述弧形段對應的側壁和至少一個所述凸起配合圍成一個所述區域。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州晶湛半導體有限公司，其通訊地址為：215123 江蘇省蘇州市蘇州工業園區金雞湖大道99號西北區20幢517-A室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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