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龍圖騰網獲悉北京華卓精科科技股份有限公司申請的專利一種硅片吸附單元及硅片傳輸裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112151435B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010973102.7，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權一種硅片吸附單元及硅片傳輸裝置是由杜欣宇;金實;張利設計研發完成，并于2020-09-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種硅片吸附單元及硅片傳輸裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種硅片吸附單元及硅片傳輸裝置，涉及半導體制造裝備技術領域，為解決現有硅片傳輸裝置占用空間大的問題而設計。該硅片吸附單元包括定子組件和動子組件，定子組件包括基座，基座設置有導向部；動子組件包括移動部和吸附頭，移動部與導向部插接配合，且移動部與導向部之間設置有用于限制二者相對轉動的周向限位結構；吸附頭固定設置于移動部，且二者沿移動部與導向部的插接方向排布。該硅片傳輸裝置包括上述硅片吸附單元。本發明提供的硅片吸附單元及硅片傳輸裝置省去了現有技術多吸盤一體式結構中設置于吸盤側向的限制旋轉結構，使得硅片吸附單元的整體結構緊湊。

本發明授權一種硅片吸附單元及硅片傳輸裝置在權利要求書中公布了：1.一種硅片吸附單元，其特征在于，包括定子組件和動子組件，所述定子組件包括基座（110），所述基座（110）設置有導向部，所述基座（110）包括底座（111）和固定設置于所述底座（111）的套筒（112），所述套筒（112）形成所述導向部；所述動子組件包括移動部和吸附頭（220），所述移動部與所述導向部插接配合，且所述移動部與所述導向部之間設置有用于限制二者相對轉動的周向限位結構；所述吸附頭（220）固定設置于所述移動部，且二者沿所述移動部與所述導向部的插接方向排布； 所述定子組件還包括與所述基座（110）相對固定設置的線圈（120），所述動子組件還包括與所述移動部固定連接的磁鋼（230），所述線圈（120）至少部分環繞所述磁鋼（230）設置；所述移動部包括傳動軸（210），所述傳動軸（210）插接于所述套筒（112），所述吸附頭（220）固定設置于所述傳動軸（210），所述傳動軸（210）的內部設有容納腔，所述磁鋼（230）位于所述容納腔中，所述傳動軸（210）的內腔設置有臺階，所述磁鋼（230）的一端與所述臺階相抵；所述線圈（120）環繞所述傳動軸（210）設置。

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