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龍圖騰網獲悉愛德華茲真空泵有限責任公司申請的專利多個真空腔室排氣系統和抽空多個真空腔室的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114008736B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080044492.8，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權多個真空腔室排氣系統和抽空多個真空腔室的方法是由D·斯坎蘭;K·L·莎儂;D·斯蒂芬森設計研發完成，并于2020-06-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本多個真空腔室排氣系統和抽空多個真空腔室的方法在說明書摘要公布了：公開了一種真空排氣系統和抽空多個腔室（10）的方法。真空排氣系統位于潔凈間中，并且包括：多個分支工藝氣體通道（14），每個分支工藝氣體通道被配置成連接到相應的腔室（10）；以及共享工藝通道（16），該共享工藝通道由分支通道的匯合形成，并且被配置成提供共享的流體連通路徑，以用于來自所述腔室中的每一個的工藝氣體從潔凈間流動到潔凈間外部的工藝通道。還存在多個分支抽氣通道（30），每個分支抽氣通道被配置成連接到相應的腔室（10）和共享的抽氣通道（32），該共享的抽氣通道由分支抽氣通道的匯合形成，并被配置成提供流體連通路徑以用于流體在真空腔室（10）中的至少一個的抽氣期間從潔凈間流動到潔凈間外部的抽氣通道。

本發明授權多個真空腔室排氣系統和抽空多個真空腔室的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于抽空位于潔凈間中的多個腔室的真空排氣系統，所述真空排氣系統包括： 多個分支工藝氣體通道，每個分支工藝氣體通道被配置成連接到相應的腔室； 共享工藝通道，由所述分支工藝氣體通道的匯合形成，并被配置成提供共享的流體連通路徑，以用于來自所述腔室中的每一個的工藝氣體從所述潔凈間流動到所述潔凈間外部的工藝通道；和 多個分支抽氣通道，每個分支抽氣通道被配置成連接到相應的腔室； 共享的抽氣通道，由所述分支抽氣通道的匯合形成，并被配置成提供流體連通路徑以用于流體在所述腔室中的至少一個的抽氣期間從所述潔凈間流動到所述潔凈間外部的抽氣通道； 控制模塊，所述控制模塊包括壓力控制電路，所述壓力控制電路被配置成生成用于控制所述共享工藝通道中的壓力的控制信號，所述壓力控制電路被配置成接收指示所述腔室中的至少一個內的未來活動的信號，所述壓力控制電路被配置成響應于指示所述未來活動的所述接收到的信號而生成所述控制信號中的至少一個； 吹掃氣體入口，用于向所述共享工藝通道提供受控的吹掃氣體流； 由所述壓力控制電路生成的所述控制信號中的至少一個是用于控制所述吹掃氣體流的控制信號。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人愛德華茲真空泵有限責任公司，其通訊地址為：美國紐約州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。