超威半導(dǎo)體公司理查德·T·舒爾茨獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉超威半導(dǎo)體公司申請(qǐng)的專利單元中的有源區(qū)上方的柵極觸點(diǎn)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN112166498B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:201980035109.X,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/768;該發(fā)明授權(quán)單元中的有源區(qū)上方的柵極觸點(diǎn)是由理查德·T·舒爾茨設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2019-03-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本單元中的有源區(qū)上方的柵極觸點(diǎn)在說(shuō)明書摘要公布了:描述了一種用于布置標(biāo)準(zhǔn)單元的電網(wǎng)連接的系統(tǒng)和方法。在各種實(shí)施方案中,將柵極金屬放置在非平面垂直導(dǎo)電結(jié)構(gòu)上,所述非平面垂直導(dǎo)電結(jié)構(gòu)用于形成非平面器件晶體管。柵極觸點(diǎn)將柵極金屬連接至所述柵極金屬上方的柵極延伸金屬GEM。GEM放置在所述柵極金屬上方,并通過(guò)一個(gè)或多個(gè)柵極觸點(diǎn)與柵極金屬連接。在所述GEM上在有源區(qū)上方形成柵極延伸觸點(diǎn)。與柵極觸點(diǎn)類似,以相比使用自對(duì)準(zhǔn)觸點(diǎn)工藝不太復(fù)雜的制造工藝來(lái)形成柵極延伸觸點(diǎn)。柵極延伸觸點(diǎn)將GEM連接至互連層,例如金屬零層。柵極延伸觸點(diǎn)與所述非平面垂直導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中的一者垂直對(duì)準(zhǔn)。因此,在實(shí)施方案中,一個(gè)或多個(gè)柵極延伸觸點(diǎn)位于所述有源區(qū)上方。
本發(fā)明授權(quán)單元中的有源區(qū)上方的柵極觸點(diǎn)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種用于創(chuàng)建標(biāo)準(zhǔn)單元布局的半導(dǎo)體器件制造方法,其包括: 在硅襯底上形成一個(gè)或多個(gè)非平面垂直導(dǎo)電結(jié)構(gòu); 將柵極金屬放置在所述一個(gè)或多個(gè)非平面垂直導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的一部分上; 在所述柵極金屬的一個(gè)或多個(gè)末端上形成一個(gè)或多個(gè)柵極觸點(diǎn); 將柵極延伸金屬GEM在所述柵極金屬上方放置在所述一個(gè)或多個(gè)柵極觸點(diǎn)上,其中所述柵極延伸金屬在整個(gè)所述標(biāo)準(zhǔn)單元布局中僅放置在所述柵極金屬上方;以及 在所述柵極延伸金屬上的位于所述一個(gè)或多個(gè)非平面垂直導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中的一者上且與所述一個(gè)或多個(gè)非平面垂直導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中的一者對(duì)準(zhǔn)的位置處形成柵極延伸觸點(diǎn),其中用于路由信號(hào)的多個(gè)金屬層中的金屬零層可用于對(duì)柵極連接進(jìn)行布線,其中所述金屬零層與所述柵極延伸觸點(diǎn)和源極漏極觸點(diǎn)中的一個(gè)或多個(gè)接觸。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人超威半導(dǎo)體公司,其通訊地址為:美國(guó)加利福尼亞州;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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