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龍圖騰網獲悉洛陽理工學院;凱盛信息顯示材料(洛陽)有限公司;洛玻集團洛陽龍海電子玻璃有限公司;中建材耀華(內江)節(jié)能玻璃有限公司申請的專利一種耐高溫ITO導電玻璃及其制備方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120330670B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510797514.2，技術領域涉及：C23C14/35；該發(fā)明授權一種耐高溫ITO導電玻璃及其制備方法是由劉明;于仕輝;楊盼;許曉穎;李結松;馮堅;董西陽;湯曉旭;黃茜茜;周航;趙拓;胡殿芳;陳建設計研發(fā)完成，并于2025-06-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種耐高溫ITO導電玻璃及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種耐高溫ITO導電玻璃及其制備方法，涉及透明導電材料領域，該ITO導電玻璃的制備方法為：先清洗玻璃基板，將干凈的玻璃基板放入磁控濺射的制備臺上，同時將ITO陶瓷靶材、SnO2陶瓷靶材和Si3N4陶瓷靶材分別安裝在磁控濺射設備的不同固定靶上，之后通過磁控濺射技術在玻璃基板上依次沉積底層SnO2薄膜、ITO薄膜、中部SnO2薄膜、Si3N4薄膜和頂層SnO2薄膜，即在玻璃基板表面形成SnO2ITOSnO2Si3N4SnO2復合薄膜結構；通過本發(fā)明的方法制備的導電玻璃在高溫環(huán)境下仍能保持穩(wěn)定的電學性能和較高的透光率，滿足半導體器件制造、太陽能電池等領域對材料的嚴苛要求，推動相關產業(yè)的發(fā)展。

本發(fā)明授權一種耐高溫ITO導電玻璃及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種耐高溫ITO導電玻璃的制備方法，其特征在于，主要包括如下步驟： 步驟S1、清洗玻璃基板，并將清洗后的玻璃基板放入磁控濺射設備的制備臺上，同時將ITO陶瓷靶材、SnO2陶瓷靶材和Si3N4陶瓷靶材分別安裝在磁控濺射設備中不同的固定靶上； 步驟S2、通過磁控濺射技術在玻璃基板上依次沉積底層SnO2薄膜、ITO薄膜、中部SnO2薄膜、Si3N4薄膜和頂層SnO2薄膜，即在玻璃基板表面形成SnO2ITOSnO2Si3N4SnO2復合薄膜結構； 其中，磁控濺射底層SnO2薄膜時，沉積溫度為200~400℃，濺射氣體為氬氣與氧氣的混合氣體，氬氣與氧氣的流量比為30:1~10:1，濺射氣壓為0.3~1.5Pa，濺射功率為50~200W； 磁控濺射ITO薄膜時，沉積溫度為300~400℃，濺射氣體為氬氣，濺射氣壓為0.8~1.5Pa，濺射功率為100~200W； 磁控濺射中部SnO2薄膜時，沉積溫度為200~400℃，濺射氣體為氬氣與氧氣的混合氣體，氬氧比為30:1~10:1，濺射氣壓為0.3~1.5Pa，濺射功率為50~200W； 磁控濺射Si3N4薄膜時，沉積溫度為200~400℃，濺射氣體為氬氣，濺射氣壓為1.0~2.0Pa，濺射功率為80~200W； 磁控濺射頂層SnO2薄膜時，沉積溫度為200~400℃，濺射氣體為氬氣與氧氣的混合氣體，氬氣與氧氣的流量比為30:1~10:1，濺射氣壓為0.3~1.5Pa，濺射功率為50~200W。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人洛陽理工學院;凱盛信息顯示材料(洛陽)有限公司;洛玻集團洛陽龍海電子玻璃有限公司;中建材耀華(內江)節(jié)能玻璃有限公司，其通訊地址為：471023 河南省洛陽市洛龍區(qū)王城大道90號；或者聯(lián)系龍圖騰網官方客服，聯(lián)系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。