蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司蔡金榮獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司申請(qǐng)的專利一種碳化硅籽晶粘接裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN120250142B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202510734676.1,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C30B23/00;該發(fā)明授權(quán)一種碳化硅籽晶粘接裝置及方法是由蔡金榮;陳建明;袁長(zhǎng)路;趙文超;張江濤設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2025-06-04向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種碳化硅籽晶粘接裝置及方法在說明書摘要公布了:本申請(qǐng)實(shí)施例公開了一種碳化硅籽晶粘接裝置及方法。該裝置包括石墨基板、旋轉(zhuǎn)去膠套和上壓塊。旋轉(zhuǎn)去膠套可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于石墨基板上方,其內(nèi)部開設(shè)有相互連通的緩沖容膠槽和排膠口;緩沖容膠槽內(nèi)填充有顆粒糖,與分布于四周的凸起配合實(shí)現(xiàn)點(diǎn)硬面軟支撐,防止碳化硅籽晶偏移、減少邊緣破損。同時(shí),顆粒糖間隙可排出粘接面氣體及溢膠,且可以增大膠水流動(dòng)阻力,避免局部膠量不足。加熱固化時(shí),顆粒糖融化,旋轉(zhuǎn)去膠套旋轉(zhuǎn),凸塊刮除溢膠,同時(shí)顆粒糖提供潤(rùn)滑,減少對(duì)籽晶側(cè)壁損傷。此外,顆粒糖易溶于水,殘留小,能減少膠殘留、防止籽晶劃傷及破損,提升晶體生長(zhǎng)質(zhì)量,有效解決傳統(tǒng)方法存在的偏移、破損和膠殘留問題。
本發(fā)明授權(quán)一種碳化硅籽晶粘接裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種碳化硅籽晶粘接裝置,其特征在于,包括: 石墨基板(1),用于承載碳化硅籽晶; 旋轉(zhuǎn)去膠套(2),可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于所述石墨基板(1)上方,其內(nèi)部開設(shè)有相互連通的緩沖容膠槽(21)和排膠口(23);其中,所述緩沖容膠槽(21)用于容納顆粒糖,所述排膠口(23)用于排出融化的所述顆粒糖和多余的溢膠;所述緩沖容膠槽(21)的四周均勻分布有凸塊(22),用于與所述碳化硅籽晶的邊緣形成點(diǎn)接觸支撐; 上壓塊(3),位于所述旋轉(zhuǎn)去膠套(2)上方,用于下壓所述碳化硅籽晶; 導(dǎo)熱塊(7),設(shè)置于所述上壓塊(3)的四周。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司,其通訊地址為:215300 江蘇省蘇州市昆山市開發(fā)區(qū)杜鵑路555號(hào)A6#廠房;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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