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龍圖騰網獲悉天津吉兆源科技有限公司申請的專利一種阻抗匹配器、射頻電源系統和等離子體源系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120128119B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510594441.7，技術領域涉及：H03H7/38；該發明授權一種阻抗匹配器、射頻電源系統和等離子體源系統是由王能;王傳玉;楊懷成;劉泉志;王一梅設計研發完成，并于2025-05-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種阻抗匹配器、射頻電源系統和等離子體源系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種阻抗匹配器、射頻電源系統和等離子體源系統。該阻抗匹配器包括：阻抗匹配模塊、控制模塊以及多個并聯連接的可調電容模塊；各可調電容模塊的第一端均與阻抗匹配模塊的第一端電連接，各可調電容模塊的第二端均接地；各可調電容模塊均包括串聯連接的可調電容單元和開關單元；控制模塊用于在負載處于當前阻抗時，控制至少一個可調電容模塊中的開關單元導通，同時控制至少一個可調電容模塊中的開關單元斷開，并根據負載的下一阻抗調節至少一個斷開的開關單元所在的可調電容模塊中的可調電容單元的電容值。本發明可以在負載的阻抗發生變化的同時實現射頻電源模塊與負載之間的阻抗匹配，可快速實現阻抗匹配。

本發明授權一種阻抗匹配器、射頻電源系統和等離子體源系統在權利要求書中公布了：1.一種阻抗匹配器，其特征在于，包括：阻抗匹配模塊、控制模塊以及多個并聯連接的可調電容模塊； 所述阻抗匹配模塊的第一端與射頻電源模塊的輸出端電連接，所述阻抗匹配模塊的第二端與負載的輸入端電連接； 各所述可調電容模塊的第一端均與所述阻抗匹配模塊的第一端電連接，各所述可調電容模塊的第二端均接地；各所述可調電容模塊均包括串聯連接的可調電容單元和開關單元； 所述控制模塊用于在所述負載處于當前阻抗時，控制至少一個所述可調電容模塊中的開關單元導通，同時控制至少一個所述可調電容模塊中的開關單元斷開，并根據所述負載的下一阻抗調節至少一個斷開的開關單元所在的可調電容模塊中的可調電容單元的電容值，以使電容值被調節后的所述可調電容單元形成的總電容值與所述負載的下一阻抗相匹配，還用于在所述負載的阻抗由所述當前阻抗變化到所述下一阻抗時，控制當前導通的開關單元斷開同時控制電容值被調節的所述可調電容單元所在的可調電容模塊中的開關單元導通。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人天津吉兆源科技有限公司，其通訊地址為：300458 天津市濱海新區濱海科技園日新道196號研發樓D2一層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。