國網江蘇省電力有限公司電力科學研究院;上海大學李群獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉國網江蘇省電力有限公司電力科學研究院;上海大學申請的專利一種基于MEMS技術的階梯型FP傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120101921B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510550987.2，技術領域涉及：G01H9/00；該發明授權一種基于MEMS技術的階梯型FP傳感器及其制備方法是由李群;吳鵬;王廷云;蔚超;劉同寶;周建華;黃懌;張小貝;邵劍;王同磊;陸云才;梁家碧;李曉涵設計研發完成，并于2025-04-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于MEMS技術的階梯型FP傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開一種基于MEMS技術的階梯型FP傳感器及其制備方法，屬于聲學傳感器技術領域。傳感器包括膜片、襯底、毛細管和光纖；膜片器件層的感應輸入端中部區域設有依次排列的多個不同高度的臺階，器件層的另一面設有反射層；襯底軸向中心開設有臺階型通孔，膜片周部固定連接襯底；臺階型通孔包括第一通固定孔和第二固定孔，分別與所述光纖和毛細管相適應；毛細管插入固定于第二固定孔內；光纖貫穿毛細管后插入第一固定孔并固定，光纖朝向膜片的軸向投影位于膜片中心區域，光纖端部與反射層之間具有光傳輸間隔。本發明能夠實現傳感器的多諧振頻率，以及在各頻響范圍內均具有較高的靈敏度和信號穩定性，并降低多諧振頻率傳感器的生產成本。
本發明授權一種基于MEMS技術的階梯型FP傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種基于MEMS技術的階梯型FP傳感器，其特征是，包括膜片、襯底、毛細管和光纖； 所述膜片包括器件層，所述器件層的一面為感應輸入端，其上中部區域設有依次排列的多個不同高度的臺階，器件層的另一面為一平面，其上設有反射層； 所述襯底為一柱體，其軸向中心開設有臺階型通孔，所述膜片周部固定連接所述襯底的一端端面周部，且所述反射層朝向所述襯底；所述臺階型通孔包括靠近膜片的第一固定孔和遠離膜片的第二固定孔，所述第一固定孔和第二固定孔分別與所述光纖和毛細管相適應； 所述毛細管一端插入并固定于所述第二固定孔內； 所述光纖貫穿并固定于所述毛細管，且其一端插入所述第一固定孔并固定，光纖朝向膜片的軸向投影位于膜片中心區域，光纖端部與所述反射層之間具有光傳輸間隔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人國網江蘇省電力有限公司電力科學研究院;上海大學，其通訊地址為：211100 江蘇省南京市江寧區帕威爾路1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號