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龍圖騰網獲悉藍河科技(紹興)有限公司申請的專利應用于半導體設備的測溫方法以及測溫系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120043641B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510525681.1，技術領域涉及：G01J5/53；該發明授權應用于半導體設備的測溫方法以及測溫系統是由馬法君;左志耀;黃呈;劉明軍設計研發完成，并于2025-04-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本應用于半導體設備的測溫方法以及測溫系統在說明書摘要公布了：本發明提供應用于半導體設備的測溫方法以及測溫系統，測溫方法包括：按照目標溫度對半導體設備處理腔室內控溫后，通過濾光裝置接收處理腔室內出射的熱輻射，通過光電探測裝置接收并將經濾光裝置所出射特定波段光的光信息轉換為電壓信息，通過主控裝置根據電壓信息、電壓?溫度對應函數以及目標溫度T和預存的參照溫度之間的大小關系得到測定溫度。中包含有濾光裝置的有效波長與溫度的對應關系，是利用包含濾光裝置的測溫標定系統對標準熱源在不同設定溫度下所出射熱輻射進行光強測定和計算得到，能減少或避免因光電探測裝置可測波段和濾光裝置帶寬之間相互影響，濾光裝置實際中心波長與其標注中心波長有偏差而導致的測溫偏差。

本發明授權應用于半導體設備的測溫方法以及測溫系統在權利要求書中公布了：1.一種應用于半導體設備的測溫方法，其特征在于，包括： S0：提供濾光裝置、光電探測裝置、主控裝置和半導體設備，所述主控裝置預存有電壓-溫度對應函數； S1：按照目標溫度T對所述半導體設備的處理腔室內控溫后，通過所述濾光裝置接收所述處理腔室的熱輻射并出射對應特定波段光； S2：通過所述光電探測裝置接收并將所述特定波段光的光信息轉換為電壓信息； S3：通過所述主控裝置根據所述電壓信息、所述電壓-溫度對應函數以及所述目標溫度T和預存的參照溫度之間的大小關系得到測定溫度； 所述電壓-溫度對應函數為： 當所述目標溫度T不超過所述參照溫度，當所述目標溫度T超過所述參照溫度，； a，b為常數，所述參照溫度為700~900攝氏度； 為利用包含所述濾光裝置的測溫標定系統對標準熱源在不同設定溫度下所出射熱輻射進行光強測定和計算，所得到的所述濾光裝置的有效波長與溫度的對應關系，為當所述標準熱源的控溫為上限溫度時根據所述濾光裝置的有效波長與溫度的對應關系計算得到的對應有效波長值。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人藍河科技(紹興)有限公司，其通訊地址為：311800 浙江省紹興市諸暨市陶朱街道萬旺路8號1號樓1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。