安徽大學唐曦獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽大學申請的專利混合柵極高電子遷移率晶體管、制備方法與其測試方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120035171B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510510664.0,技術領域涉及:H10D30/47;該發明授權混合柵極高電子遷移率晶體管、制備方法與其測試方法是由唐曦;林鳳萍;劉曉宇;唐高飛設計研發完成,并于2025-04-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本混合柵極高電子遷移率晶體管、制備方法與其測試方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種混合柵極高電子遷移率晶體管、制備方法與其測試方法。所述晶體管可配置為耗盡模式或增強模式,柵極結構由不同比例的p?GaN半導體層組成。制備過程中采用電感耦合等離子體反應離子蝕刻技術,保護柵極結構并減少缺陷。器件工作時,通過向柵極施加驅動電壓,在源極和漏極偏壓下調控p?GaNAlGaNGaN異質結內建電場,耗盡柵極下方的二維電子氣,且耗盡程度隨p?GaN比例變化。施加正偏壓可恢復二維電子氣。整個制備工藝嚴格遵循標準氮化鎵技術流程,無需額外修改。該設計可有效降低柵極漏電,提供穩定且可調的閾值電壓,并通過調節p?GaN比例實現器件常開與常關狀態的靈活調控。
本發明授權混合柵極高電子遷移率晶體管、制備方法與其測試方法在權利要求書中公布了:1.混合柵極高電子遷移率晶體管,其特征在于,包括: 襯底; 沿第一方向上依次層疊設置的N型溝道層、勢壘層和P型半導體層,其中,所述第一方向為襯底指向P型半導體層的方向; 所述P型半導體層包括沿第二方向上依次排列的多個子P型半導體層,其中,多個所述子P型半導體層具有不同占用比;所述第二方向為垂直于源極指向漏極的方向; 當所述子P型半導體層的占用比的范圍為大于0%且小于100%時,所述子P型半導體層中包括多個沿第二方向上等距排列的子P型半導體層島;當所述子P型半導體層的占用比為100%時,所述子P型半導體層中包括一個子P型半導體層島; 鈍化電介質層以及肖特基金屬層; 所述鈍化電介質層設置于所述勢壘層表面未被所述P型半導體層覆蓋的區域; 所述肖特基金屬層設于所述P型半導體層表面,以同時形成金屬半導體肖特基接觸和MIS柵極; 所述占用比為: Pp-GaN=Wp-GaNWtotal; 其中,Pp-GaN為占用比大小,Wtotal是一個子P型半導體層的寬度,Wp-GaN是相應的一個子P型半導體層中所有子P型半導體層島的寬度之和。
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