世源科技工程有限公司王鵬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉世源科技工程有限公司申請的專利一種光刻機近端超純水深度純化裝置及光刻機供水系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116375124B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310271849.1，技術領域涉及：C02F1/20；該發明授權一種光刻機近端超純水深度純化裝置及光刻機供水系統是由王鵬;李剛設計研發完成，并于2023-03-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種光刻機近端超純水深度純化裝置及光刻機供水系統在說明書摘要公布了：本發明涉及超純水凈化技術領域，公開一種光刻機近端超純水深度純化裝置及光刻機供水系統，該光刻機近端超純水深度純化裝置包括:供水管路、回流管路、脫氣組件、錯流式微型過濾器和光刻機進液管路，所述供水管路的出水口與所述第一脫氣組件的進水口連通，所述第一脫氣組件的出水口與所述錯流式微型過濾器的進水口連通，所述錯流式微型過濾器的回水口與所述回流管路的進水口連通，所述錯流式微型過濾器的透過水口與所述光刻機進液管路連通，第二脫氣組件在回流管路上并與所述錯流式微型過濾器的回水口連通。一旦回水口流出的水發生意外反流或細菌、顆粒、有機物、溶解氧、氣泡等逆向擴散，依然可以將其隔留，有效阻止其進入光刻機。
本發明授權一種光刻機近端超純水深度純化裝置及光刻機供水系統在權利要求書中公布了：1.一種光刻機近端超純水深度純化裝置，其特征在于，包括:供水管路、回流管路、第一脫氣組件、錯流式微型過濾器和光刻機進液管路，所述供水管路的出水口與所述第一脫氣組件的進水口連通，所述第一脫氣組件的出水口與所述錯流式微型過濾器的進水口連通，所述錯流式微型過濾器的回水口與所述回流管路的進水口連通，所述錯流式微型過濾器的透過水口與所述光刻機進液管路連通； 所述光刻機近端超純水深度純化裝置還包括真空管路，所述真空管路與所述第一脫氣組件的抽氣口連通； 所述光刻機近端超純水深度純化裝置還包括第二脫氣組件，所述第二脫氣組件連接于所述回流管路的進水口和所述錯流式微型過濾器的回水口之間； 所述錯流式微型過濾器的進水口和回水口之間未設置濾芯，所述錯流式微型過濾器的透過水口與進水口至回水口之間的路徑之間設置有濾芯； 光刻機近端超純水深度純化裝置還包括減震裝置，所述第一脫氣組件、所述第二脫氣組件和所述錯流式微型過濾器設置于所述減震裝置上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人世源科技工程有限公司，其通訊地址為：100142 北京市海淀區西四環北路160號玲瓏天地大廈C座；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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