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龍圖騰網獲悉長沙翼望半導體有限公司申請的專利一種用于探針臺的氣冷式溫控系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116430919B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310229947.9，技術領域涉及：G05D23/20；該發明授權一種用于探針臺的氣冷式溫控系統是由肖宇;肖霞設計研發完成，并于2023-03-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于探針臺的氣冷式溫控系統在說明書摘要公布了：本發明提供了一種用于探針臺的氣冷式溫控系統，包括：密閉腔室；卡盤結構，設置在密閉腔室內，卡盤結構包括氣冷盤、加熱盤和卡盤，卡盤內設置有檢測卡盤溫度的第一溫度傳感組件；控制器控制加熱盤的溫度；低溫制冷器對氣冷盤調節溫度，低溫制冷器還信號連接于控制器；低溫制冷器包括循環氣路，循環氣路的進氣口用于連通外部氣源，排氣口與氣冷盤連通；進氣口還連通有回熱器組，回熱器組連通有加熱器，加熱器連通排氣口，排氣口與加熱器之間還設置有第二溫度傳感組件；低溫制冷器還包括回流氣路，回流氣路的回氣口與氣冷盤連通，回氣排出口連通密閉腔室，回氣口和回氣排出口之間設置有第三回熱器和第三溫度傳感組件，第三溫度傳感組件靠近回氣口。

本發明授權一種用于探針臺的氣冷式溫控系統在權利要求書中公布了：1.一種用于探針臺的氣冷式溫控系統，其特征在于，包括： 密閉腔室（1）； 卡盤結構，設置在密閉腔室（1）內，所述卡盤結構自下而上的包括氣冷盤（21）、加熱盤（22）和卡盤（23），所述卡盤（23）內設置有用于檢測卡盤（23）溫度的第一溫度傳感組件； 控制器（3），與所述加熱盤（22）信號連接并控制加熱盤（22）的溫度； 低溫制冷器（4），用于對氣冷盤（21）進行溫度調節，所述低溫制冷器（4）還信號連接于控制器（3）； 所述低溫制冷器（4）包括循環氣路，所述循環氣路包括進氣口（411）和排氣口（412），所述進氣口（411）用于連通外部氣源，所述排氣口（412）與所述氣冷盤（21）連通； 所述進氣口（411）還連通有回熱器組，所述回熱器組連通有加熱器（414），所述加熱器（414）連通排氣口（412），所述排氣口（412）與加熱器（414）之間還設置有第二溫度傳感組件（415）； 所述低溫制冷器（4）還包括回流氣路，所述回流氣路包括回氣口（421）和回氣排出口（422），所述回氣口（421）與所述氣冷盤（21）連通，所述回氣排出口（422）連通密閉腔室（1），所述回氣口（421）和回氣排出口（422）之間設置有第三回熱器（423）和第三溫度傳感組件（424），所述第三溫度傳感組件（424）靠近回氣口（421）； 所述控制器（3）與所述回熱器組、加熱器（414）、第二溫度傳感器、第三回熱器（423）和第三溫度傳感器信號連接； 所述循環氣路還包括空氣干燥器（416），所述空氣干燥器（416）連通有第一流量控制單元（417），所述第一流量控制單元（417）與所述回熱器組連通； 在所述進氣口（411）和空氣干燥器（416）之間還連通有氣壓傳感器（418）； 所述空氣干燥器（416）、第一流量控制單元（417）和氣壓傳感器（418）分別與所述控制器（3）信號連接； 所述回熱器組與所述加熱器（414）之間開設有循環氣支路，所述循環氣支路的下游連通于第三溫度傳感組件（424）和第三回熱器（423）之間，所述循環氣支路上設置有第二流量控制單元（431）； 所述回熱器組包括一級回熱器（4131）和二級回熱器（4132），所述一級回熱器（4131）和二級回熱器（4132）連通，所述一級回熱器（4131）與第一流量控制器（3）連通，所述二級回熱器（4132）與加熱器（414）連通； 所述低溫制冷器（4）還包括一級熱交換系統和二級熱交換系統，所述一級熱交換系統包括一級壓縮機（441），所述一級壓縮機（441）與二級回熱器（4132）連通，二級回熱器（4132）連通有冷凝蒸發器（442），所述冷凝蒸發器（442）連通有第一過濾器（443），所述第一過濾器（443）連通有冷凝器（444），所述冷凝器（444）與所述一級壓縮機（441）連通； 所述二級熱交換系統包括二級壓縮機（451），所述二級壓縮機（451）與所述一級回熱器（4131）連通，所述一級回熱器（4131）與所述冷凝蒸發器（442）連通，所述冷凝蒸發器（442）連通有第二過濾器（452），所述第二過濾器（452）與所述第三回熱器（423）連通，所述第三回熱器（423）與所述冷凝器（444）連通，所述冷凝器（444）連通于所述二級壓縮機（451）；二級熱交換系統與一級回熱器（4131）進行熱交換的同時還能通過第三回熱器（423）與回流氣路進行熱交換。

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