西北大學(xué)趙偉獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉西北大學(xué)申請的專利一種基于矢量化路徑和光場調(diào)控的多焦點激光加工方法及加工系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115121941B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210937079.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B23K26/06;該發(fā)明授權(quán)一種基于矢量化路徑和光場調(diào)控的多焦點激光加工方法及加工系統(tǒng)是由趙偉;段林含;張琛;朱月強設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-08-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種基于矢量化路徑和光場調(diào)控的多焦點激光加工方法及加工系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供了一種基于矢量化路徑和光場調(diào)控的多焦點激光加工方法,首先解讀并模擬SVG矢量圖形編碼信息,重點解讀編碼信息里的標(biāo)簽信息,從每個標(biāo)簽所代表的坐標(biāo)信息或函數(shù)信息里逐段模擬出矢量路徑,最后將多焦點和矢量路徑相結(jié)合,通過在空間光調(diào)制器上不斷切換相位圖產(chǎn)生多焦點并行的矢量路徑。本發(fā)明設(shè)計的控制方法在半導(dǎo)體工業(yè)、微流控器件、光學(xué)操縱、激光切割等方面具有巨大的應(yīng)用前景。
本發(fā)明授權(quán)一種基于矢量化路徑和光場調(diào)控的多焦點激光加工方法及加工系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基于矢量化路徑和光場調(diào)控的多焦點激光加工方法,其特征在于,包括以下步驟: S1、通過計算機(13)解讀所需加工圖樣的SVG矢量編碼信息,提取所需加工圖樣的矢量路徑,將矢量路徑與SVG矢量編碼信息對比直至形狀輪廓完全一致; S2、根據(jù)加工任務(wù)要求,確定光學(xué)系統(tǒng)參數(shù),根據(jù)光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)計算多焦點光斑數(shù)量K、光斑尺寸和光場調(diào)制范圍,設(shè)定光斑最小間隔; S3、基于光斑最小間隔和待加工矢量路徑圖樣的真實尺寸對圖樣進行離散化,得到所有的激光焦點坐標(biāo)信息,并通過SVG矢量編碼信息中的路徑信息關(guān)聯(lián)每一個激光焦點移動的路徑信息; S4、基于K個焦點光斑的調(diào)制范圍將矢量路徑圖樣分為n個加工分區(qū),在每個加工分區(qū)內(nèi)對K個焦點分配激光焦點坐標(biāo)位置和路徑信息,每個加工分區(qū)中均有K條路徑; S5、在每個加工分區(qū)中,均生成全息相位圖序列及其加載順序; S6、通過在純相位空間光調(diào)制器(7)上切換每一個加工分區(qū)的相位圖序列對激光進行調(diào)制,從而生成K個焦點對每一個加工分區(qū)進行多焦點并行加工; 所述S3中對圖樣進行離散化處理具體包括以下操作步驟: S301、光斑最小間隔的取值范圍為d4-d2,d表示所用激光光斑或者加工出的圓形區(qū)域的直徑; S302、基于,通過數(shù)值插值方法,將每一條曲線離散化為坐標(biāo)點,并按順序為所有坐標(biāo)點進行排序,生成順序排列的橫坐標(biāo)、縱坐標(biāo)數(shù)組,及其相應(yīng)關(guān)系數(shù)組,代表第個坐標(biāo)點,代表加工完第個坐標(biāo)點后下一次加工的坐標(biāo)點; 所述S4中分配加工分區(qū)和加工路徑的具體方法為: S401、基于待加工的坐標(biāo)點總數(shù)和坐標(biāo)點的分布特點,確定n個加工分區(qū); S402、根據(jù)第i個加工分區(qū)的位置和面積,將S3中生成的位于第i個加工分區(qū)的坐標(biāo)點及其路徑重新命名,將、和重新命名為、和,、,和代表坐標(biāo)點在第i個加工分區(qū)內(nèi)相對于加工分區(qū)中心的坐標(biāo); S403、針對第坐標(biāo)點與坐標(biāo)點在第i個加工區(qū)的不同分布情況,令第坐標(biāo)點為第i個加工區(qū)的截止點,令坐標(biāo)點為另一個分區(qū)的初始點; 所述S5中生成全息相位圖序列及其加載順序的具體操作步驟為: S501、以物鏡(9)的后孔徑平面直徑D將后孔徑平面分成a個條狀區(qū)域,對每一個條狀區(qū)域進一步分成b個更小的條狀區(qū)域; S502、將K個焦點的坐標(biāo)分別代入相位表達(dá)式 ; 其中,λ為激光波長,NA為所用物鏡的數(shù)值孔徑,nt為物鏡的折射率,R是物鏡的后孔徑平面最大半徑,x0和y0是物鏡后孔徑平面的正交坐標(biāo),其中Xil和Yil是在焦平面的x和y方向上相對于物鏡原焦點的相對位移分量; 填充進行了兩次條狀分割的全息相位圖,即能得到能夠同時生成K個焦點的全息相位圖。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人西北大學(xué),其通訊地址為:710127 陜西省西安市長安區(qū)郭杜教育科技產(chǎn)業(yè)區(qū)學(xué)府大街1號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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