深圳博升光電科技有限公司吳辰陽獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便!
龍圖騰網獲悉深圳博升光電科技有限公司申請的專利零級光強可調的二維分束衍射光柵制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115185028B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210880718.9,技術領域涉及:G02B5/18;該發明授權零級光強可調的二維分束衍射光柵制備方法是由吳辰陽;黃選綸;王嘉星設計研發完成,并于2022-07-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本零級光強可調的二維分束衍射光柵制備方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種零級光強可調的二維分束衍射光柵制備方法,根據最小化后的代價函數優化二元相位差值以及相位變化點的空間調制坐標;根據所述優化得到的二元相位差值以及相位變化點的空間調制坐標,獲得衍射光柵結構參數和刻蝕深度,并且生成光刻掩模版;根據所述光刻掩模版對襯底進行微納加工,獲得二維分束衍射光柵元件。本發明通過優化二元相位差值以及相位變化點的空間調制坐標,實現對特定衍射級光強的控制,并通過加工刻蝕深度的變化實現了對零級衍射級強度的控制,進而實現衍射點陣圖案的變化,從而克服了達曼光柵在實際應用中0級衍射級光強過大的問題,并可根據實際需要構造所需等強度均勻點陣的分布,進一步拓展了其在多領域的應用。
本發明授權零級光強可調的二維分束衍射光柵制備方法在權利要求書中公布了:1.一種零級光強可調的二維分束衍射光柵制備方法,其特征在于,該方法包括: 根據最小化后的代價函數優化二元相位差值初始解以及相位變化點的空間調制坐標; 根據所述優化得到的二元相位差值以及相位變化點的空間調制坐標,獲得衍射光柵結構參數和刻蝕深度,并且生成光刻掩模版; 根據所述光刻掩模版對襯底進行微納加工,獲得二維分束衍射光柵元件; 所述根據最小化后的代價函數優化二元相位差值初始解以及相位變化點的空間調制坐標,具體為:設定初始溫度T=T0,隨機生成歸一化相位變化點空間調制坐標初始解x、0<x<1以及二元相位差值初始解 計算代價函數設置每個T值的迭代次數L,令T=kT,0<k<1,k表示溫度下降速率;對當前解x和施加隨機擾動,在其鄰域產生新解:x_new=x+Δx,計算新解代價函數值計算目標函數值增量若Δcost0則接受x_new和作為新的當前解,否則以概率exp-ΔcostkT判斷是否接受x_new和作為新的當前解;在溫度T下,重復L次擾動和接受過程;如果溫度T達到終止溫度水平,則終止算法,獲得優化后的二元相位差值以及相位變化點的空間調制坐標; 所述代價函數根據實際所需光斑陣列衍射級次,結合衍射效率和衍射級均勻性誤差構建; 以目標最小化衍射級為±p和±q級為例,代價函數表述為: 其中Ik′為目標最小化衍射級遠場光強分布±p和±q級,Ik為不包括目標最小化衍射級在內的第k衍射級遠場光強分布,范圍為-n到n,不包含±p和±q,N不包括目標最小化衍射級在內的衍射級數之和,η為目標總衍射效率。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人深圳博升光電科技有限公司,其通訊地址為:518055 廣東省深圳市南山區桃源街道福光社區留仙大道3370號南山智園崇文園區3號樓2401;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息,力求客觀、公正,但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。