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龍圖騰網(wǎng)獲悉成都虹躍科技有限公司申請的專利超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115265374B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210866145.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/02；該發(fā)明授權(quán)超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量裝置及方法是由王偉;安磊設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-07-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量裝置及方法，包括支撐氣膜、大理石拋光轉(zhuǎn)臺、修正盤、工件盤、激光位移傳感器、傳感器夾具、數(shù)據(jù)采集卡、高精度平晶、便攜式電腦、供氣系統(tǒng)、梁和基臺；支撐氣膜位于大理石拋光轉(zhuǎn)臺和基臺之間，供氣系統(tǒng)為支撐氣膜供氣，修正盤、工件盤、高精度平晶和梁均位于大理石拋光轉(zhuǎn)臺上，工件放置在工件盤上。傳感器夾具安裝在梁上，激光位移傳感器與傳感器夾具固連，并與數(shù)據(jù)采集卡電連接，數(shù)據(jù)采集卡與便攜式電腦電連接，激光位移傳感器檢測高精度平晶的數(shù)據(jù)后，通過數(shù)據(jù)采集卡傳遞到便攜式電腦中。使用三點(diǎn)測量法測試氣膜厚度，解決了大型氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量困難的問題。

本發(fā)明授權(quán)超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量方法，其特征在于：利用超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量裝置，精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量裝置包括支撐氣膜（1）、大理石拋光轉(zhuǎn)臺（2）、修正盤（3）、工件盤（4）、激光位移傳感器（5）、傳感器夾具（6）、數(shù)據(jù)采集卡（7）、高精度平晶（8）、便攜式電腦（9）、供氣系統(tǒng)（10）、梁（11）和基臺（12）；支撐氣膜（1）位于大理石拋光轉(zhuǎn)臺（2）和基臺（12）之間，供氣系統(tǒng)（10）為支撐氣膜（1）供氣，修正盤（3）、工件盤（4）、高精度平晶（8）和梁（11）均位于大理石拋光轉(zhuǎn)臺（2）上，工件放置在工件盤（4）上；傳感器夾具（6）安裝在梁（11）上，激光位移傳感器（5）與傳感器夾具（6）固連，并與數(shù)據(jù)采集卡（7）電連接，數(shù)據(jù)采集卡（7）與便攜式電腦（9）電連接，激光位移傳感器（5）檢測高精度平晶（8）的數(shù)據(jù)后，通過數(shù)據(jù)采集卡（7）傳遞到便攜式電腦（9）中； 超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置的測量方法，包括以下步驟： S1、在氣浮轉(zhuǎn)臺不工作的情況下，即供氣系統(tǒng)（10）的供氣壓力為零，分別將三個激光位移傳感器（5）通過傳感器夾具（6）吸附在大理石拋光轉(zhuǎn)臺（2）的三根梁（11）上，將每根梁（11）作為測量軸； S2、調(diào)節(jié)激光位移傳感器（5）與高精度平晶（8）的位置關(guān)系； S3、在測量軸上安裝激光位移傳感器（5）； S4、運(yùn)行超精密全口徑拋光機(jī)氣浮轉(zhuǎn)臺靜態(tài)位置測量裝置，獲得測量數(shù)據(jù)； 所述步驟S2中，激光位移傳感器（5）的探頭對準(zhǔn)下方水平放置的高精度平晶（8），高精度平晶（8）的數(shù)量為三個，高精度平晶（8）中心對應(yīng)下方點(diǎn)位，下方三點(diǎn)位位于同一圓上，三點(diǎn)之間的角度與三根梁（11）角度近似； 所述步驟S3還包括以下分步驟： S31、在第一根測量軸上2.3m直徑位置安裝一個傳感器，通過卡尺對心測量一個2.3m位置點(diǎn)，標(biāo)記，傳感器測量點(diǎn)對齊后固定； S32、根據(jù)現(xiàn)場測量合適角度，順時針轉(zhuǎn)125度，在第二根測量軸上2.3m直徑位置安裝二號傳感器，并將二號傳感器測量點(diǎn)對齊與旋轉(zhuǎn)過來的標(biāo)記點(diǎn)；順時針旋轉(zhuǎn)110度，在第三根測量軸上2.3m直徑位置安裝三號傳感器，并將三號傳感器測量點(diǎn)對齊旋轉(zhuǎn)過來的標(biāo)記點(diǎn)； 所述步驟S4還包括以下分步驟： S41、打開供氣系統(tǒng)（10），在基臺（12）和大理石拋光轉(zhuǎn)臺（2）間形成支撐氣膜（1），將大理石拋光轉(zhuǎn)臺（2）浮起，在工件盤（4）安裝工件； S42、有氣壓時放下修正盤（3），之后放干凈氣體，歸零三個激光位移傳感器（5），將供氣壓力為零時平面設(shè)定為參考0位置基準(zhǔn)面； S43、改變供氣壓力分別為0.25MPa到0.75MPa,0.5MPa到0.5MPa,0.75MPa到0.25MPa，反復(fù)重復(fù)多次，測試不同供氣壓力時三點(diǎn)的數(shù)值為空間Z坐標(biāo)值，由于高精度平晶（8）的位置定好之后不再改變，故X，Y坐標(biāo)已確定；查看傳感器參數(shù)，傳感器數(shù)值即表示不同點(diǎn)位的氣膜厚度，不同情況差值即表示氣膜厚度變化量； S44、找到每組數(shù)據(jù)組成的圓的圓心，算出空間圓面的法向量，求出法向量和Z坐標(biāo)軸向量（0,0,1）夾角即為轉(zhuǎn)臺偏角； S45、R已知，通過幾何關(guān)系，由轉(zhuǎn)臺偏角計算出轉(zhuǎn)臺最高最低點(diǎn)高度；R為測距且已知； S46、空間圓即球體為被平面截取一個面所得，空間圓的方程為空間球面方程與空間平面方程聯(lián)立方程組。

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