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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請的專利光學(xué)測量方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115077398B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210667770.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/06；該發(fā)明授權(quán)光學(xué)測量方法是由梁洪濤;張戎;張厚道;張曉雷;張云;施耀明設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-06-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本光學(xué)測量方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種光學(xué)測量方法，所述光學(xué)測量方法包括：獲取待測樣品的測量光譜；對所述測量光譜進(jìn)行光滑濾波處理，以得到高頻光譜；基于所述待測樣品的光學(xué)性能參數(shù)對所述測量光譜中的變量真空波長建立變量替換函數(shù)關(guān)系，以獲取替換變量；基于所述替換變量，對所述高頻光譜進(jìn)行約化處理，以得到目標(biāo)高頻信號；對所述目標(biāo)高頻信號進(jìn)行傅里葉變換，以得到傅里葉空間光譜；對所述傅里葉空間光譜進(jìn)行尋峰，其中最大峰所對應(yīng)的參數(shù)值即為所述待測樣品的待測參數(shù)的測量結(jié)果。本發(fā)明直接通過確定所述傅里葉空間光譜最大峰所對應(yīng)的參數(shù)值，并根據(jù)所述參數(shù)值得到所述待測樣品的待測參數(shù)，提高了對待測樣品的光學(xué)參數(shù)的準(zhǔn)確度。

本發(fā)明授權(quán)光學(xué)測量方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光學(xué)測量方法，其特征在于，包括： S1、獲取待測樣品的測量光譜，為入射光的真空波長，且所述為變量； S2、對所述測量光譜進(jìn)行光滑濾波處理，以得到所述測量光譜中的高頻光譜； S3、基于所述待測樣品的光學(xué)性能參數(shù)對所述測量光譜中的所述真空波長建立變量替換函數(shù)關(guān)系，以獲取替換變量，所述替換變量包括N個且與所述待測樣品的每層薄膜相對應(yīng)的替換分變量，所述替換分變量基于所述待測樣品的每層薄膜的折射率建立所述函數(shù)關(guān)系來獲??； S4、基于所述替換變量，對所述高頻光譜進(jìn)行約化處理，以得到與所述待測樣品的待測參數(shù)相對應(yīng)且呈現(xiàn)單一周期性振蕩的目標(biāo)高頻信號； S5、對所述目標(biāo)高頻信號進(jìn)行傅里葉變換，以得到傅里葉空間光譜； S6、對所述傅里葉空間光譜進(jìn)行尋峰，其中最大峰所對應(yīng)的參數(shù)值即為所述待測樣品的待測參數(shù)的測量結(jié)果。

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