東京毅力科創株式會社森淳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利處理模塊和處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114724977B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111596530.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權處理模塊和處理方法是由森淳;山岸孝幸設計研發完成，并于2021-12-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本處理模塊和處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及處理模塊和處理方法。檢測在處理容器內進行輸送時的晶圓的位置偏移。處理模塊具有處理容器、旋轉臂和傳感器。處理容器在內部具有多個處理空間，該多個處理空間各自的中心位于同一圓周上且分別配置有載置臺。旋轉臂具有多個保持部，該多個保持部能夠保持分別在多個處理空間的載置臺載置的晶圓，該旋轉臂設為能夠以圓周的中心為旋轉軸線進行旋轉。傳感器位于相鄰的處理空間之間，能夠在旋轉臂的旋轉動作時檢測被旋轉臂保持著的晶圓的位置。
本發明授權處理模塊和處理方法在權利要求書中公布了：1.一種處理模塊，其中， 該處理模塊具有： 處理容器，其在內部具有多個處理空間，該多個處理空間各自的中心位于同一圓周上且分別配置有載置臺； 旋轉臂，其具有多個保持部，該多個保持部能夠保持分別在所述多個處理空間的載置臺載置的晶圓，該旋轉臂設為能夠以所述圓周的中心為旋轉軸線進行旋轉；以及 傳感器，其位于相鄰的所述處理空間之間，能夠在所述旋轉臂的旋轉動作時檢測被所述旋轉臂保持著的所述晶圓的位置， 其中，該處理模塊還具有調整機構，該調整機構根據由所述傳感器所檢測到的所述晶圓的位置計算的所述晶圓的位置偏移的偏移量來使所述載置臺移動。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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