科磊股份有限公司R·威靈福德獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉科磊股份有限公司申請的專利基于深度學習的缺陷檢測系統及計算機實施方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115769254B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180043756.2,技術領域涉及:G06T7/00;該發明授權基于深度學習的缺陷檢測系統及計算機實施方法是由R·威靈福德;G·叢;S·帕克設計研發完成,并于2021-07-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于深度學習的缺陷檢測系統及計算機實施方法在說明書摘要公布了:提供用于檢測樣本上的缺陷的方法及系統。一種系統包含一或多個計算機系統及由所述一或多個計算機系統執行的一或多個組件。所述組件包含深度學習模型,其經配置用于針對樣本上的位置從由高分辨率成像系統在所述位置處產生的高分辨率圖像產生灰階模擬設計數據圖像。所述計算機系統經配置用于從所述灰階模擬設計數據圖像產生所述位置的模擬二進制設計數據圖像。所述計算機系統還經配置用于通過從所述模擬二進制設計數據圖像減去所述位置的設計數據來檢測所述樣本上所述位置處的缺陷。
本發明授權基于深度學習的缺陷檢測系統及計算機實施方法在權利要求書中公布了:1.一種經配置以檢測樣本上的缺陷的系統,其包括: 一或多個計算機系統;及 一或多個組件,其由所述一或多個計算機系統執行,其中所述一或多個組件包括深度學習模型,所述深度學習模型被配置為,對于樣本上的位置,將從在所述位置處產生的高分辨率圖像產生針對所述樣本上的所述位置的灰階模擬設計數據圖像,且其中所述高分辨率圖像是由高分辨率成像系統在所述位置處產生的; 其中所述一或多個計算機系統被配置為利用所述灰階模擬設計數據圖像產生所述位置的模擬二進制設計數據圖像;且 其中所述一或多個計算機系統進一步被配置為,通過從所述模擬二進制設計數據圖像減去所述位置的設計數據得到的減去的結果,來檢測所述樣本上所述位置處的缺陷。
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