株式會社斯庫林集團江本哲也獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116114049B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180058516.X，技術領域涉及：H01L21/304；該發明授權基板處理方法是由江本哲也;山本滋;藤井大樹;枝光建治;巖田敬次;川井侑哉;伊藤健一設計研發完成，并于2021-06-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理方法在說明書摘要公布了：提供一種基板處理方法。基板處理方法包括：對基板W供給拒水劑SMT的工序S7；在供給拒水劑SMT后，對基板W供給稀釋異丙醇dIPA的工序S11，所述稀釋異丙醇是經過稀釋的異丙醇；以及在供給稀釋異丙醇dIPA后，使基板W干燥的工序S12。
本發明授權基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，其是處理基板的方法，其中，包括： 第一工序，對所述基板供給異丙醇； 第二工序，在所述第一工序之后，對所述基板供給拒水劑； 第三工序，在所述第二工序之后，對所述基板供給稀釋異丙醇，所述稀釋異丙醇是經過稀釋的異丙醇； 第四工序，在所述第三工序之后，對所述基板供給異丙醇；以及 第五工序，在所述第四工序之后，使所述基板干燥， 所述稀釋異丙醇包含異丙醇和去離子水， 在所述稀釋異丙醇中，所述去離子水相對于所述異丙醇的比例為10％以上且30％以下。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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