上海微電子裝備(集團)股份有限公司楊曉青獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利照明裝置、缺陷檢測系統、光刻機以及缺陷檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115406894B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110592434.5，技術領域涉及：G01N21/88；該發明授權照明裝置、缺陷檢測系統、光刻機以及缺陷檢測方法是由楊曉青;韓雪山;張一志;申永強;顧杰設計研發完成，并于2021-05-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本照明裝置、缺陷檢測系統、光刻機以及缺陷檢測方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種照明裝置、缺陷檢測系統、光刻機以及缺陷檢測方法。其中，所述光照單元用于提供線狀光照。所述光調整單元用于調整所述光照的發散角至預設值。所述光分割單元用于將經光調整單元后的所述光照分割為至少兩束子光照。所述至少兩束子光照交錯分布且光強相互疊加形成的光斑包括呈平頂高斯分布的光斑。因此，本發明通過所述光調整單元來增大所述光照的發散角至預設值，以在有限的空間中實現遠心照明，提高缺陷檢測精準度。并通過光分割單元形成的所述光斑，以保證在一定方向上部分光強的均勻，避免內部運動以及外界振動導致光強不均勻不穩定，以引起對缺陷檢測的影響，進而保證了缺陷檢測系統的高精準度，有利于提高產品良率。
本發明授權照明裝置、缺陷檢測系統、光刻機以及缺陷檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種照明裝置，其特征在于，所述照明裝置包括：沿光路依次設置的光照單元、光調整單元、光分割單元以及準直鏡組； 所述光照單元用于提供線狀光照，并傳播至所述光調整單元； 所述光調整單元用于調整所述光照的發散角至預設值，以縮小所述準直鏡組的焦距；且調整后的所述光照為遠心光照； 所述光分割單元用于將經所述光調整單元后的所述光照分割為至少兩束子光照；所述至少兩束子光照交錯分布且光強相互疊加形成的光斑包括呈平頂高斯分布的光斑； 所述準直鏡組用于保持經所述光分割單元輸出的交錯分布的所述至少兩束子光照的準直性。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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