上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司程斌斌獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
買(mǎi)專(zhuān)利賣(mài)專(zhuān)利找龍圖騰,真高效! 查專(zhuān)利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)!專(zhuān)利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便!
龍圖騰網(wǎng)獲悉上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利氣浴裝置及光刻機(jī)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115220306B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為:202110426406.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G03F7/20;該發(fā)明授權(quán)氣浴裝置及光刻機(jī)是由程斌斌;張洪博;王偉偉;趙建軍;顏小龍?jiān)O(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2021-04-20向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。
本氣浴裝置及光刻機(jī)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明提供一種氣浴裝置和光刻機(jī),通過(guò)在氣浴裝置的本體內(nèi)設(shè)置對(duì)應(yīng)進(jìn)氣口設(shè)置且朝向遠(yuǎn)離進(jìn)氣口方向延伸的分流板,以使得從進(jìn)氣口流入的氣流能夠經(jīng)氣流通道重新分配,以均勻的從出氣口流出。而分流板遠(yuǎn)離進(jìn)氣口彎折設(shè)置,從而可以調(diào)整氣流的流體直徑和方向,有效防止了流經(jīng)氣流通道內(nèi)的氣流產(chǎn)生渦旋。同時(shí),通過(guò)設(shè)置導(dǎo)流板,以延伸氣流通道,并進(jìn)一步的避免渦旋的產(chǎn)生。
本發(fā)明授權(quán)氣浴裝置及光刻機(jī)在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種氣浴裝置,其特征在于,所述氣浴裝置包括: 本體,所述本體內(nèi)具有氣浴腔,所述本體上還具有至少一進(jìn)氣口和至少一出氣口,所述出氣口設(shè)在所述本體的底部,所述進(jìn)氣口和所述出氣口連通所述氣浴腔; 至少一分流板,所述分流板設(shè)置在所述氣浴腔內(nèi),其中,至少一個(gè)所述分流板對(duì)應(yīng)一個(gè)所述進(jìn)氣口設(shè)置,所述分流板遠(yuǎn)離所述進(jìn)氣口的端部彎折設(shè)置,且朝向遠(yuǎn)離所述進(jìn)氣口的方向延伸,以將由所述進(jìn)氣口流入的氣流進(jìn)行分流至至少兩個(gè)氣流通道中,所述氣流經(jīng)所述氣流通道分流后從所述出氣口流出; 至少一導(dǎo)流板,所述導(dǎo)流板位于所述出氣口上方,并與所述分流板遠(yuǎn)離所述進(jìn)氣口的端部固定連接,且朝向遠(yuǎn)離所述進(jìn)氣口的方向延伸,以延伸所述氣流通道。
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù),可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司,其通訊地址為:201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
1、本報(bào)告根據(jù)公開(kāi)、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息,力求客觀、公正,但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
- 深圳憶海原識(shí)科技有限公司任化龍獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 深圳技術(shù)大學(xué)吳旭獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 深圳市歡太科技有限公司林進(jìn)全獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 蘇州蘇大維格科技集團(tuán)股份有限公司羅明輝獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 常州舒安車(chē)輛有限公司顧國(guó)興獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 三星顯示有限公司高在慶獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 北京小米移動(dòng)軟件有限公司姜娟娟獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 開(kāi)利公司吳揚(yáng)獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 華為技術(shù)有限公司余永長(zhǎng)獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 上海天納克排氣系統(tǒng)有限公司林永金獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)


熱門(mén)推薦
- 中北大學(xué)于大國(guó)獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 浙江榮升機(jī)械有限公司楊舟獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 深圳市冠旭電子股份有限公司吳海全獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 杭州神林電子有限公司鄧睿獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 廣西電網(wǎng)有限責(zé)任公司南寧供電局檀亞鳳獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 珠海博杰電子股份有限公司羅英俊獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 青島海爾洗碗機(jī)有限公司張永奎獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司B·C·賈梅伊獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 海信(山東)冰箱有限公司王美艷獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
- 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一一研究所陳高獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)