山西高科華興電子科技有限公司付桂花獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉山西高科華興電子科技有限公司申請的專利一種微小芯片節距調整裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113113335B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110407634.9,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權一種微小芯片節距調整裝置是由付桂花;馬洪毅設計研發完成,并于2021-04-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種微小芯片節距調整裝置在說明書摘要公布了:本發明提出一種微小芯片節距調整裝置,屬于微小電子元器件技術領域;具體包括固定框架,固定框架內設置有可左右移動的節距調整機構,節距調整機構包括多個平行的節距執行板,相鄰兩個節距執行板之間的間距在推動機構下可等距離拉長和收縮,固定框架內設置有限位機構,限位機構用于節距執行板在拉長或收縮后的定位,節距執行板用于插入吸盤上微小芯片的行或列內進行節距調整;本發明通過節距調整裝置可簡單快速的實現微小芯片節距調整,與多種轉移裝置相配合使用,提高了轉移的效率和精度,無需復雜的設備即可完成,大量節約成本。
本發明授權一種微小芯片節距調整裝置在權利要求書中公布了:1.一種微小芯片節距調整裝置,其特征在于,包括固定框架,所述固定框架內設置有可左右移動的節距調整機構,所述節距調整機構包括多個平行的節距執行板,相鄰兩個節距執行板之間的間距在推動機構下可等距離拉長和收縮,所述固定框架內設置有限位機構,所述限位機構用于節距執行板在拉長或收縮后的定位,所述節距執行板用于插入吸盤上微小芯片的行或列內進行節距調整; 所述節距執行板中間布置有運動讓位孔,絲桿上依次連接有出力板、動節距調整板、多個節距執行板,所述動節距調整板與出力板相連接,絲桿連接出力板的一端連接有驅動裝置,出力板在驅動裝置的作用下帶動所述的動節距調整板沿絲桿進入運動讓位孔,所述動節距調整板逐級推動多個節距執行板,用于使節距執行板之間拉伸至相同間距;遠離出力板的節距執行板上連接有節距執行回位套,所述節距執行回位套在絲桿帶動下用于推動多個節距執行板向出力板方向收回; 所述固定框架內一側設置有出力板,所述出力板連接在絲桿上,所述絲桿連接有驅動裝置,所述絲桿兩側設置有軌道;所述節距調整機構包括網狀伸縮臂和多個節距執行板,所述網狀伸縮臂包括依次滑動連接在所述軌道上的主動關節、多個滑動關節和主定關節,所述多個滑動關節之間連接有網狀臂,所述網狀臂通過多個中間關節實現伸縮;所述主動關節與出力板相連接,所述主定關節固定連接在遠離出力板的一端;所述主動關節、滑動關節、主定關節均攜帶一節距執行板。
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