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龍圖騰網獲悉長江存儲科技有限責任公司申請的專利晶圓的測量機臺及清洗方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112908924B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110341274.7，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權晶圓的測量機臺及清洗方法是由劉雨軒設計研發完成，并于2021-03-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓的測量機臺及清洗方法在說明書摘要公布了：本申請公開了一種晶圓的測量機臺，包括載片臺、真空抽氣單元、壓力吹氣單元和控制單元，載片臺處于測量晶圓的第二位置時，通過控制單元調節，使得真空抽氣單元與吸附孔連通向吸附孔內抽真空，將晶圓吸附在載片臺上，晶圓測量完后，通過控制單元調節，使得壓力吹氣單元與吸附孔連通，向吸附孔吹送壓力氣體，以便移除晶圓。載片臺處于清潔的第一位置時，通過控制單元調節使得壓力吹氣單元與吸附孔連通，向吸附孔吹送壓力氣體，對載片臺進行清潔，從而提高載片臺的清潔度。本申請還公開了一種晶圓的測量機臺的清洗方法，通過控制單元控制壓力吹氣單元與吸附孔連通，對載片臺進行氣壓清潔，從而提高載片臺的潔凈度，提高晶圓的良品率。

本發明授權晶圓的測量機臺及清洗方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓的測量機臺的清洗方法，其特征在于， 所述晶圓的測量機臺包括： 可移動地載片臺，具有處于清潔的第一位置和處于測量所述晶圓的第二位置，所述載片臺上形成有吸附孔； 真空抽氣單元，與所述吸附孔連接，用于對所述吸附孔進行抽真空，以吸附所述晶圓于所述載片臺； 壓力吹氣單元，與所述吸附孔連接，用于向所述吸附孔吹送壓力氣體，以對所述吸附孔進行氣壓清潔或便于移除所述晶圓；以及 控制單元，用于控制所述真空抽氣單元和所述壓力吹氣單元分別與所述吸附孔連通或隔絕； 收集單元，配置為當所述壓力吹氣單元進行氣壓清潔時，抽吸所述載片臺上的顆粒； 所述清洗方法包括： 移動載片臺，使所述載片臺處于清潔的第一位置； 調節所述控制單元，使壓力吹氣單元與所述載片臺的吸附孔連通的步驟之前，降下收集單元的罩體，以罩設于所述載片臺； 調節控制單元，使壓力吹氣單元與所述載片臺的吸附孔連通； 在控制壓力吹氣單元向吸附孔吹送壓力氣體，以對吸附孔進行氣壓清潔的步驟之前，控制所述收集單元向所述罩體內抽真空，以抽吸所述載片臺上的顆粒； 控制所述壓力吹氣單元向所述吸附孔吹送壓力氣體，以對所述吸附孔進行氣壓清潔； 調節所述控制單元，使所述壓力吹氣單元與所述吸附孔隔絕； 移動所述載片臺，使所述載片臺處于測量所述晶圓的第二位置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。