廣州集成電路技術研究院有限公司邱奕錦獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉廣州集成電路技術研究院有限公司申請的專利基板清洗系統及基板清洗方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114695162B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011599507.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板清洗系統及基板清洗方法是由邱奕錦;孫志源;林清山設計研發完成，并于2020-12-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板清洗系統及基板清洗方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基板清洗系統，包括腔室和設置在腔室內的支撐卡盤和噴淋單元，基板固定在支撐卡盤上；噴淋單元用于將沖洗液噴淋到基板上以對基板進行清洗，其中，噴淋單元包括噴嘴，在噴嘴中設置有以向外傾斜的結構配置的多個排出管，以使通過排出管排出的沖洗液均勻地噴淋到基板的表面。本發明通過可以伸縮的擋板在支撐卡盤不旋轉的狀態之下來承接漂洗之后的沖洗液，并使其流入到排出層進行處理；噴嘴設計有不同角度的同心圓孔淋浴孔，以保證整個基板有液體流過；在卡盤不旋轉時，液體流動缺乏向外的力，因此設計了噴嘴臂旋轉來提供液體流動的向外力。
本發明授權基板清洗系統及基板清洗方法在權利要求書中公布了：1.一種基板清洗系統，其特征在于，包括腔室和設置在所述腔室內的支撐卡盤和噴淋單元，所述基板固定在所述支撐卡盤上；所述噴淋單元用于將沖洗液噴淋到所述基板上以對所述基板進行清洗，其中，所述噴淋單元包括噴嘴，在所述噴嘴中設置有以向外傾斜的結構配置的多個排出管，以使通過所述排出管排出的所述沖洗液均勻地噴淋到所述基板的表面；在沿所述腔室的內壁上在不同高度處配置有多個排出層，以將噴淋在所述基板表面的所述沖洗液導出所述腔室；所述排出層連接有可伸縮擋板，所述支撐卡盤設有與可伸縮擋板卡位連接的開口；所述支撐卡盤可在腔室內垂直上下移動至預設高度，與對應擋板卡接，以實現不同工藝清潔襯底；所述基板清洗系統具有所述支撐卡盤不旋轉，且所述擋板卡接于所述開口的第一狀態，以及所述支撐卡盤旋轉，且所述擋板不卡接于所述開口的第二狀態。
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