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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司申請的專利一種片盒及片盒定位裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114496864B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202011253391.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/673；該發(fā)明授權(quán)一種片盒及片盒定位裝置是由劉凱;付紅艷;劉浩;王剛設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-11-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種片盒及片盒定位裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種片盒和片盒定位裝置。片盒開設(shè)有容納基底的容納槽，片盒的底部沿X方向貫通設(shè)置有避讓槽，避讓槽的槽底凸設(shè)有定位條，片盒具有與X方向垂直的定位面，容納槽具有貫通定位面的槽口，基底能通過槽口進(jìn)入或退出容納槽。片盒定位裝置用于定位如上的片盒，且包括承載板，承載板上沿X方向設(shè)置有至少兩個定位槽，不同尺寸的片盒的定位條能插入設(shè)定的定位槽中；片盒定位裝置具有檢測面，當(dāng)片盒裝載在承載板上時，檢測面與定位面重合。本發(fā)明公開的片盒及片盒定位裝置，能夠提高片盒定位裝置對不同規(guī)格片盒的兼容性。

本發(fā)明授權(quán)一種片盒及片盒定位裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種片盒定位裝置，用于定位片盒，所述片盒開設(shè)有容納基底（3）的容納槽（114），所述片盒的底部沿X方向貫通設(shè)置有避讓槽（16），所述避讓槽（16）的槽底凸設(shè)有定位條（14），所述片盒具有與所述X方向垂直的定位面（115），所述容納槽（114）具有貫通所述定位面（115）的槽口，所述基底（3）能通過所述槽口進(jìn)入或退出所述容納槽（114），其特征在于，所述片盒定位裝置（2）包括承載板（21），所述承載板（21）上沿所述X方向設(shè)置有至少兩個定位槽（231），不同規(guī)格的所述片盒的所述定位條（14）能插入設(shè)定的所述定位槽（231）中，且不同規(guī)格的所述片盒對應(yīng)的設(shè)定定位槽不完全相同，所述定位槽（231）沿所述X方向的槽寬等于對應(yīng)所述定位條（14）沿所述X方向的寬度； 所述片盒定位裝置（2）具有與所述X方向垂直的檢測面，當(dāng)所述片盒裝載在所述承載板（21）上時，所述檢測面與所述定位面（115）重合； 所述承載板（21）上設(shè)置有前擋板（29），所述前擋板（29）位于所述片盒（1）的前側(cè)且沿Y方向設(shè)置，所述前擋板（29）包括相對YZ平面傾斜設(shè)置的導(dǎo)向板部（291），所述導(dǎo)向板部（291）凸出所述承載板（21）的上表面，且所述導(dǎo)向板部（291）由下至上沿遠(yuǎn)離所述檢測面及所述片盒（1）的方向傾斜設(shè)置； 所述承載板（21）上還設(shè)置有Y向定位結(jié)構(gòu)，所述Y向定位結(jié)構(gòu)用于定位所述片盒在所述承載板（21）上的Y向位置。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)張東路1525號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。