大族激光科技產業集團股份有限公司蘆海朋獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉大族激光科技產業集團股份有限公司申請的專利晶圓預對準方法、晶圓預對準系統和存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114068376B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010776690.5，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權晶圓預對準方法、晶圓預對準系統和存儲介質是由蘆海朋;吳金明;何中演;田沖;高波;吳志宏;李劍鋒;高云峰設計研發完成，并于2020-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓預對準方法、晶圓預對準系統和存儲介質在說明書摘要公布了：本申請涉及一種晶圓預對準方法。所述方法包括：利用位移傳感器對晶圓的圓周進行采樣，得到所述晶圓的圓周的位移數據；對所述位移數據進行差分處理，得到差分結果；根據所述差分結果確定所述晶圓的缺口或切邊的兩個端點位置，以及所述缺口或切邊的中心位置；基于所述位移數據確定所述晶圓的圓心偏移量；根據所述缺口或切邊的中心位置和所述圓心偏移量確定所述缺口或切邊的中心相較于指定位置的偏轉角度；基于所述偏轉角度和所述圓心偏移量調整所述晶圓的位置。上述方法僅需通過一次數據采集，結合采集得到的位移數據的差分結果即可完成晶圓的預對準，耗時短，計算量小。
本發明授權晶圓預對準方法、晶圓預對準系統和存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種晶圓預對準方法，其特征在于，所述方法包括： 利用位移傳感器對晶圓的圓周進行采樣，得到所述晶圓的圓周的位移數據； 對所述位移數據進行差分處理，得到差分結果； 根據所述差分結果確定所述晶圓的缺口或切邊的兩個端點位置，根據所述兩個端點位置確定所述缺口或切邊的中心位置； 分別將所述位移數據中，所述缺口或切邊的兩個端點位置兩側預設數目個位移數據以及非勻速的位移數據剔除； 從剔除后的所述位移數據中選取預設數目組對稱的數據組，并基于選取的所述數據組，采用回轉半徑法進行圓心擬合，以確定所述晶圓的圓心偏移量； 根據所述缺口或切邊的中心位置和所述圓心偏移量確定所述缺口或切邊的中心相較于指定位置的偏轉角度； 基于所述偏轉角度和所述圓心偏移量調整所述晶圓的位置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人大族激光科技產業集團股份有限公司，其通訊地址為：518057 廣東省深圳市南山區深南大道9988號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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