蘇州大學梁福生獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州大學申請的專利一種固晶機熱誤差預測方法、裝置、存儲介質及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120256810B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510757171.7,技術領域涉及:G06F17/18;該發明授權一種固晶機熱誤差預測方法、裝置、存儲介質及系統是由梁福生;黎凱;付江波;樊成;陳濤;李陽;王佳奇設計研發完成,并于2025-06-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種固晶機熱誤差預測方法、裝置、存儲介質及系統在說明書摘要公布了:本發明公開了一種固晶機熱誤差預測方法、裝置、存儲介質及系統,屬于固晶機熱誤差預測技術領域,方法包括獲取固晶機X軸上多個熱誤差測量點處的熱誤差,測量所述熱誤差時測得的固晶機上多個溫度測量點處的溫度,以及,固晶機上待預測位置與X軸起點的距離;基于所述溫度和所述熱誤差的相關性,從所有溫度測量點中篩選出各個熱誤差測量點對應的多個備選溫度敏感點,從所有備選溫度敏感點中篩選出最終的多個溫度敏感點;將所述距離和多個溫度敏感點處的溫度輸入到線性回歸模型,計算待預測位置的熱誤差。本發明通過同時考慮溫度和位置因素實現固晶機熱誤差的精確預測,通過溫度敏感點的篩選提高預測精確度。
本發明授權一種固晶機熱誤差預測方法、裝置、存儲介質及系統在權利要求書中公布了:1.一種固晶機熱誤差預測方法,其特征在于,包括: 獲取固晶機X軸上多個熱誤差測量點處的熱誤差,測量所述熱誤差時測得的固晶機上多個溫度測量點處的溫度,以及,固晶機上待預測位置與X軸起點的距離; 基于所述溫度和所述熱誤差的相關性,從所有溫度測量點中篩選出各個熱誤差測量點對應的多個備選溫度敏感點,從所有備選溫度敏感點中篩選出最終的多個溫度敏感點; 將所述距離和多個溫度敏感點處的溫度輸入到線性回歸模型,計算待預測位置的熱誤差;其中,所述線性回歸模型是基于待預測位置與X軸起點的距離和溫度敏感點處的溫度之間的關系構建的; 若溫度敏感點為三個,則所述線性回歸模型的表達式為: (6); (7); (8); (9); (10); 其中,Ex是與固晶機X軸起點的距離為x毫米處的熱誤差,ax是與固晶機X軸起點的距離為x毫米的待預測位置對應的常數系數,bx是與固晶機X軸起點的距離為x毫米的待預測位置對應的T*1的系數,cx是與固晶機X軸起點的距離為x毫米的待預測位置對應的T*2的系數,dx是與固晶機X軸起點的距離為x毫米的待預測位置對應的T*3的系數,T*1是第1個溫度敏感點處的溫度,T*2是第2個溫度敏感點處的溫度,T*3是第3個溫度敏感點處的溫度,x是待預測位置與距固晶機X軸起點的距離,單位為毫米,是用于計算ax的一元線性回歸模型的斜率,是用于計算ax的一元線性回歸模型的常數項,是用于計算bx的一元線性回歸模型的斜率,是用于計算bx的一元線性回歸模型的常數項,是用于計算cx的一元線性回歸模型的斜率,是用于計算cx的一元線性回歸模型的常數項,是用于計算dx的一元線性回歸模型的斜率,是用于計算dx的一元線性回歸模型的常數項。
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