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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利鍍膜生產(chǎn)線獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116219401B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202310125234.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/448；該發(fā)明授權(quán)鍍膜生產(chǎn)線是由余仲;譚曉華;劉順;張海濤;趙步舉;楊福滿(mǎn);程培勇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-02-02向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本鍍膜生產(chǎn)線在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種鍍膜生產(chǎn)線，能夠?qū)崿F(xiàn)PECVD鍍膜設(shè)備與HWCVD鍍膜設(shè)備的連線，提高產(chǎn)能，降低成本。鍍膜生產(chǎn)線，包括：臥式HWCVD設(shè)備，包括第一腔體、熱絲模塊以及第一水平運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，第一腔體設(shè)有第一鍍膜腔，且第一腔體的前側(cè)部設(shè)有第一進(jìn)口，熱絲模塊設(shè)置于第一鍍膜腔的內(nèi)部，熱絲模塊包括多個(gè)熱絲組件，多個(gè)熱絲組件在水平方向上呈陣列式排布，每個(gè)熱絲組件均包括熱絲，每根熱絲均包括第一豎向段、第二豎向段以及橫向段，第一水平運(yùn)輸機(jī)構(gòu)設(shè)置于第一鍍膜腔的內(nèi)部；臥式PECVD設(shè)備，包括設(shè)有第二鍍膜腔的第二腔體、以及設(shè)置于第二鍍膜腔內(nèi)的第二水平運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，第二腔體的后側(cè)部設(shè)有第二出口，第二出口與第一進(jìn)口相互連通。

本發(fā)明授權(quán)鍍膜生產(chǎn)線在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種鍍膜生產(chǎn)線，其特征在于，包括： 臥式HWCVD設(shè)備，所述臥式HWCVD設(shè)備包括第一腔體、熱絲模塊以及第一水平運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，所述第一腔體設(shè)有第一鍍膜腔，且所述第一腔體的前側(cè)部設(shè)有第一進(jìn)口，所述第一腔體的后側(cè)部設(shè)有第一出口，所述熱絲模塊設(shè)置于所述第一鍍膜腔的內(nèi)部，所述熱絲模塊包括多個(gè)熱絲組件，多個(gè)所述熱絲組件在水平方向上呈陣列式排布，每個(gè)所述熱絲組件均包括熱絲，每根所述熱絲均包括第一豎向段、第二豎向段以及橫向段，其中，所述第一豎向段和所述第二豎向段均呈豎向設(shè)置，所述第一豎向段與所述第二豎向段沿水平方向間隔設(shè)置，所述橫向段的兩端分別與第一豎向段的底端和所述第二豎向段的底端連接，所述第一豎向段的頂端以及所述第二豎向段的頂端均與所述第一腔體的頂部連接，所述第一水平運(yùn)輸機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述第一鍍膜腔的內(nèi)部，并位于所述熱絲模塊的下方； 臥式PECVD設(shè)備，所述臥式PECVD設(shè)備包括設(shè)有第二鍍膜腔的第二腔體、以及設(shè)置于所述第二鍍膜腔內(nèi)的第二水平運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，所述第二腔體的前側(cè)部設(shè)有第二進(jìn)口，所述第二腔體的后側(cè)部設(shè)有第二出口，所述第二出口與所述第一進(jìn)口相互連通； 其中，所述第二水平運(yùn)輸機(jī)構(gòu)用于承載橫向載板并能夠?qū)⑺鰴M向載板通過(guò)所述第二出口和所述第一進(jìn)口輸送至所述第一鍍膜腔內(nèi)并轉(zhuǎn)移至所述第一水平運(yùn)輸機(jī)構(gòu)上； 其中，所述第一豎向段的長(zhǎng)度以及所述第二豎向段的長(zhǎng)度均小于100mm，所述橫向段的長(zhǎng)度小于200mm。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)金牛東路62號(hào)一層至六層；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。