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龍圖騰網(wǎng)獲悉濟源豫金靶材科技有限公司申請的專利一種銀銅鋅合金濺射靶材及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116334548B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211696203.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/34；該發(fā)明授權(quán)一種銀銅鋅合金濺射靶材及其制備方法是由鄭云豐;常紅慧;趙巖;魏延堯;于朋;喬京衛(wèi)設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-12-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種銀銅鋅合金濺射靶材及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種銀銅鋅合金濺射靶材及其制備方法。以質(zhì)量百分含量表示，所述銀銅鋅合金濺射靶材由合金成分Cu6～20％、Zn4～10％、Ni0～2％和余量銀組成。按照合金成分組成進行配料；所得原料進行熔煉、精煉、除氣；除氣后所得合金液采用鑄鐵模具進行澆鑄，得到坯料；將所得坯料依次進行熱軋、均勻化熱處理和人工時效：時效后取出水冷，得到銀銅鋅合金濺射靶材。本發(fā)明通過合金元素的添加和覆蓋劑的使用降低合金靶材的含氧量；利用合適的熱加工和熱處理工藝，來達到均勻靶材組織、細化晶粒的目的。本發(fā)明具有成本低、無污染，易于操作的優(yōu)點，最終制得的銀銅鋅合金靶材氧含量小于20ppm，平均晶粒尺寸小于40μm。

本發(fā)明授權(quán)一種銀銅鋅合金濺射靶材及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種銀銅鋅合金濺射靶材的制備方法，其特征在于，以質(zhì)量百分含量表示，所述銀銅鋅合金濺射靶材由合金成分Cu6～20%、Zn4～10%、Ni0～2%和余量銀組成； 其制備方法包括以下步驟： a、配料：按照所述銀銅鋅合金濺射靶材的合金成分組成進行配料； b、熔煉：將步驟a配制的物料進行熔煉，熔煉后得到合金液； 所述熔煉的具體過程為：將除鋅塊或鋅塊、鎳塊外的原料放入坩堝中，加入木炭完全覆蓋坩堝表面，然后加熱至1050～1200℃下保溫4～10min；接著加入占配制合金原料總重量0.1～0.2%的硼砂和占配制合金原料總重量0.1～0.2%的冰晶石，加入后降溫至950～1020℃，在此溫度下加入鎳塊、鋅塊或鋅塊進行熔煉； c、精煉除氣：將所得合金液進行精煉、除氣； 所述精煉、除氣的具體過程為：鎳塊、鋅塊或鋅塊加入后進行攪拌30～60s，950～1020℃下保溫2～5分鐘；然后利用鋅元素本身在熔煉過程中產(chǎn)生的蒸氣泡內(nèi)外氣體分壓差進行除氣； d、澆鑄：精煉除氣后所得合金液采用鑄鐵模具進行澆鑄，得到坯料； 所述澆鑄過程中，采用液化氣外焰完全覆蓋澆鑄模具口和坩堝口； e、將所得坯料進行熱軋，熱軋溫度為680～800℃，每道次量15%，總變形量為50～70%； f、將熱軋所得卷材進行均勻化熱處理，熱處理溫度為700～750℃、處理時間為1～2h，熱處理后進行出爐水淬； 所述熱處理過程中采用氬氣保護； g、人工時效：水淬后在150～200℃下時效處理1～4h；時效后取出水冷，得到銀銅鋅合金濺射靶材。

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