上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司;上海集成電路研發中心有限公司趙宏飛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司;上海集成電路研發中心有限公司申請的專利涂膠裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115657422B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211520067.9，技術領域涉及：G03F7/16；該發明授權涂膠裝置是由趙宏飛;安冬;宣胤杰設計研發完成，并于2022-11-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本涂膠裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種涂膠裝置，包括：涂膠噴嘴和清洗噴嘴；所述涂膠噴嘴與所述清洗噴嘴分別用于噴出所述光刻膠和所述清洗劑；所述涂膠噴嘴包括涂膠噴頭，所述清洗噴嘴包括清洗噴頭；所述涂膠噴頭和所述清洗噴頭均為管狀，所述涂膠噴頭和所述清洗噴頭的方向相同且側壁相互抵接，其中，所述涂膠噴頭的端面超出所述清洗噴頭，使得所述清洗噴頭的所述清洗劑流經所述涂膠噴頭的側壁，能夠在實現去除懸掛的光刻膠液滴的前提下，減少設備內的空間占用。
本發明授權涂膠裝置在權利要求書中公布了：1.一種涂膠裝置，其特征在于，包括：涂膠噴嘴和清洗噴嘴，所述涂膠噴嘴與所述清洗噴嘴分別用于噴出光刻膠和所述清洗劑；所述涂膠噴嘴包括涂膠噴頭，所述清洗噴嘴包括清洗噴頭，所述涂膠噴頭和所述清洗噴頭均為管狀；其中，所述涂膠噴頭和所述清洗噴頭的方向相同且側壁相互抵接，所述涂膠噴頭的端面超出所述清洗噴頭，使得所述清洗噴頭噴出的所述清洗劑流經所述涂膠噴頭的側壁；所述涂膠噴嘴包括位于所述涂膠噴頭末端的錐形部，使所述涂膠頭噴出的物料在重力作用下積聚在所述錐形部的頂點處，且所述錐形部的頂點位于靠近所述清洗噴頭的一側，使所述清洗噴頭噴出的所述清洗劑流經所述錐形部的頂點。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司;上海集成電路研發中心有限公司，其通訊地址為：201800 上海市嘉定區婁陸公路497號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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