上海微高精密機械工程有限公司周勇宇獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微高精密機械工程有限公司申請的專利一種掩模版傳輸的非對稱吸附及吸附補償裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115593946B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211279034.X,技術領域涉及:B65G49/05;該發明授權一種掩模版傳輸的非對稱吸附及吸附補償裝置是由周勇宇;郭鵬;姜晨;焦培俊設計研發完成,并于2022-10-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種掩模版傳輸的非對稱吸附及吸附補償裝置在說明書摘要公布了:一種掩模版傳輸的非對稱吸附及吸附補償裝置,包括連接底板、非對稱式吸附裝置以及吸附補償裝置,非對稱式吸附裝置相對設置在連接底板的上下兩側,吸附補償裝置相對設置在連接底板左右兩側的中間位置,非對稱式吸附裝置上設有第一吸附孔,吸附補償裝置上設有第二吸附孔,設于連接底板上下兩側的非對稱式吸附裝置上的第一吸附孔之間沿連接底板的中心線呈不對稱分布,非對稱式吸附裝置內設置有與第一吸附孔連通的第一真空通道,吸附補償裝置設有與第二吸附孔連通的第二真空通道,本發明結構上改變掩模版傳輸過程中的吸附方式,掩模版在被吸附的過程中受力點不對稱,減小了掩模版在傳輸過程中產生的變形,減少了掩模版的損傷,提高傳輸精度。
本發明授權一種掩模版傳輸的非對稱吸附及吸附補償裝置在權利要求書中公布了:1.一種掩模版傳輸的非對稱吸附及吸附補償裝置,其特征在于,包括連接底板、非對稱式吸附裝置以及吸附補償裝置,所述非對稱式吸附裝置相對設置在連接底板的上下兩側,所述吸附補償裝置相對設置在連接底板左右兩側的中間位置,非對稱式吸附裝置上設有第一吸附孔,吸附補償裝置上設有第二吸附孔,設于連接底板上下兩側的非對稱式吸附裝置上的第一吸附孔之間沿連接底板的中心線呈不對稱分布; 非對稱式吸附裝置包括四個非對稱式吸附裝置,所述四個非對稱式吸附裝置以兩兩相對的方式設置在連接底板的上下兩側,吸附補償裝置包括兩個吸附補償裝置,所述兩個吸附補償裝置以相對的方式設置在連接底板左右兩側的中間位置,且兩個吸附補償裝置上的第二吸附孔沿連接底板的中心線對稱設置; 四個非對稱式吸附裝置中位于連接底板上側的兩個非對稱式吸附裝置上的第一吸附孔分別設置在兩個非對稱式吸附裝置的最左側和最右側,四個非對稱式吸附裝置中位于連接底板下側的兩個非對稱式吸附裝置上的第一吸附孔分別設置在兩個非對稱式吸附裝置的中間位置和最右側; 非對稱式吸附裝置內設置有與第一吸附孔連通的第一真空通道,吸附補償裝置設有與第二吸附孔連通的第二真空通道。
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