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龍圖騰網獲悉上海積塔半導體有限公司申請的專利一種探針卡結構及WAT測試方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115598389B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211236189.5，技術領域涉及：G01R1/067；該發明授權一種探針卡結構及WAT測試方法是由劉倩倩;宋永梁;高玉珠;季鳴設計研發完成，并于2022-10-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種探針卡結構及WAT測試方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種探針卡結構及WAT測試方法，針環設置在PCB板的下表面，與PCB板的下表面緊密貼合；探針組包括N個探針及M個電容，相鄰兩個探針通過一個所述電容進行連接；各探針均包括接口裝置、第一線纜、第二線纜及針頭，接口裝置與所述第一線纜電連接，且均設置在PCB板的上表面；第二線纜設置在PCB板的下表面，第一端基于過孔與第一線纜電連接；針頭通過安裝裝置設置在針環上，并與第二線纜的第二端電連接；通過在探針組中相鄰的探針之間設置電容，使探針卡結構能夠實現對晶圓內部電容值通常小于皮法級別的電容的精準測量。結構簡單，操作簡便，具有廣泛的適用性。

本發明授權一種探針卡結構及WAT測試方法在權利要求書中公布了：1.一種探針卡結構，用于測量晶圓內部的電容，其特征在于，所述探針卡結構至少包括： PCB板、針環及探針組，其中： 所述針環設置在所述PCB板的下表面，與所述PCB板的下表面緊密貼合； 所述探針組包括N個探針及M個電容，相鄰兩個所述探針通過一個所述電容進行連接，其中，N為大于等于3的自然數，M為大于等于2的自然數；各所述探針均包括接口裝置、第一線纜、第二線纜及針頭，所述接口裝置與所述第一線纜電連接，且均設置在所述PCB板的上表面；所述第二線纜設置在所述PCB板的下表面，第一端基于過孔與所述第一線纜電連接；所述針頭通過安裝裝置設置在所述針環上，并與所述第二線纜的第二端電連接； 其中，通過所述接口裝置，使測試設備與所述探針卡結構連接；通過所述針頭，使晶圓與所述探針卡結構連接，測試設備基于所述探針卡結構對晶圓內部的電容進行測量； 其中，所述探針卡結構包括沿順時針方向或沿逆時針方向依次相鄰的探針A、探針B及探針C；所述晶圓包括至少一個獨立的待測單元，其中，所述待測單元包括：沿橫向或沿縱向依次相鄰的焊盤A、焊盤B和焊盤C，以及連接于焊盤A與焊盤C之間的所述待測電容，焊盤A與焊盤B之間存在寄生電容C寄生1，焊盤B與焊盤C之間存在寄生電容C寄生2；其中，進行電容測量時，探針A與焊盤A連接，探針B與焊盤B連接，探針C與焊盤C連接。

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