買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉細美事有限公司申請的專利用于處理基板的裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114695197B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111651064.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于處理基板的裝置是由金周援;柳楊烈;安熙滿;徐準浩;樸崠云;尹相弼設計研發完成，并于2021-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于處理基板的裝置在說明書摘要公布了：提供了一種用于處理基板的裝置。該裝置包括：第一處理單元，其被配置為具有第一處理容器和第一支承單元并被配置為處理基板；第二處理單元，其被配置為具有第二處理容器和第二支承單元并被配置為處理基板；和排放單元，其被配置為將第一處理容器的第一內部空間和第二處理容器的第二內部空間進行排放，其中第一處理單元和第二處理單元布置成一行，其中排放單元包括集成管道、第一排放管和第二排放管，其中集成管道包括被配置為分隔集成管道中的排放路徑的第一壁構件，第一壁構件在第一位置與第二位置之間起始并沿著排放路徑的排放方向延伸，并且其中第一壁構件分隔設置為與第一排放管流通的第一排放路徑和設置為與第二排放管流通的第二排放路徑。

本發明授權用于處理基板的裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于處理基板的裝置，所述裝置包括： 第一處理單元，所述第一處理單元包括第一處理容器，所述第一處理容器被配置為具有第一內部空間以及第一支承單元，其中，所述第一支承單元在所述第一內部空間中支承并旋轉所述基板； 第二處理單元，所述第二處理單元包括第二處理容器，所述第二處理容器被配置為具有第二內部空間以及第二支承單元，其中，所述第二支承單元在所述第二內部空間中支承并旋轉所述基板；以及 排放單元，所述排放單元被配置為將所述第一內部空間和所述第二內部空間進行排放， 其中，所述第一處理單元和所述第二處理單元沿單元布置方向布置， 其中，所述排放單元包括集成管道，所述集成管道沿所述第一處理單元和所述第二處理單元的所述單元布置方向延伸， 第一排放管，所述第一排放管被配置為具有用于引入所述第一內部空間的氣氛的第一排放口，并且將所述第一內部空間的氣氛排放到所述集成管道；以及 第二排放管，所述第二排放管被配置為具有用于引入所述第二內部空間的氣氛的第二排放口，并且將所述第二內部空間的氣氛排放到所述集成管道， 其中，所述集成管道包括第一壁構件，所述第一壁構件被配置為分隔所述集成管道中的第一排放路徑， 其中，所述第一壁構件在第一位置與第二位置之間起始并沿著所述第一排放路徑的排放方向延伸，在所述第一位置中所述第一排放管與所述集成管道連接，并且在所述第二位置中所述第二排放管與所述集成管道連接，并且 其中，所述第一壁構件分隔第一排放路徑和第二排放路徑，所述第一排放路徑與所述第一排放管連接，所述第二排放路徑與所述第二排放管連接； 其中，所述第一位置在所述第一排放路徑和所述第二排放路徑中的每一個的排氣方向上位于所述第二位置的下游， 其中，通過所述第一排放路徑排放的所述第一內部空間的氣氛和通過所述第二排放路徑排放的所述第二內部空間的氣氛，在所述第一壁構件的下游匯合，以及 其中，所述第一壁構件具有第一部分和第二部分，并且 其中，所述第一部分與所述集成管道的內壁接觸并且相對于所述集成管道的縱向方向傾斜設置，以及所述第二部分從所述第一部分延伸并且平行于所述集成管道的縱向方向設置，其中，所述第二部分在所述第一排放路徑和所述第二排放路徑的排放方向上平行于所述排放單元的外壁延伸。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人細美事有限公司，其通訊地址為：韓國忠清南道天安市西北區稷山邑四產團五街77號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。