深圳鼎晶科技有限公司喻瀧獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳鼎晶科技有限公司申請的專利一種吸附裝置及晶圓巨量轉移設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114334777B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111592188.X,技術領域涉及:H01L21/683;該發明授權一種吸附裝置及晶圓巨量轉移設備是由喻瀧設計研發完成,并于2021-12-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種吸附裝置及晶圓巨量轉移設備在說明書摘要公布了:本發明實施例公開了一種吸附裝置及晶圓巨量轉移設備,涉及Micro?LED晶圓巨量轉移技術領域,該吸附裝置及晶圓巨量轉移設備包括負壓裝置、接頭以及吸附板;所述吸附板包括吸附區域以及轉移區域,所述吸附區域圍繞分布于所述轉移區域的四周;所述吸附區域包括多個吸附孔以及氣路,多個所述吸附孔設于所述氣路中;所述接頭分別與所述氣路以及所述負壓裝置連接。取得具備吸附力的同時,避免干擾激光振晶體,能更好地完成Micro?LED晶圓巨量轉移效果。
本發明授權一種吸附裝置及晶圓巨量轉移設備在權利要求書中公布了:1.一種吸附裝置,其特征在于,包括負壓裝置、接頭以及吸附板;所述吸附板包括吸附區域以及轉移區域,所述吸附區域圍繞分布于所述轉移區域的四周;所述吸附區域包括多個吸附孔以及氣路,多個所述吸附孔設于所述氣路中;所述接頭分別與所述氣路以及所述負壓裝置連接; 所述吸附板包括定位孔,所述定位孔設于所述轉移區域的一側,所述氣路包括主干氣路、第一分支氣路、連接氣路以及第二分支氣路,所述主干氣路一端與所述接頭連接,所述主干氣路另一端與所述第一分支氣路連接,所述連接氣路分別與所述第一分支氣路以及所述第二分支氣路連接,所述第一分支氣路以及所述第二分支氣路分別位于所述定位孔的兩側; 所述吸附板還包括設備安裝區域,所述設備安裝區域設于所述吸附區域外;所述設備安裝區域用于安裝激光測距設備;所述設備安裝區域包括多個固定孔以及多個設備孔,多個所述固定孔以及多個所述設備孔均穿過所述吸附板。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人深圳鼎晶科技有限公司,其通訊地址為:518108 廣東省深圳市南山區西麗街道陽光社區松白路1008號企航科創研發產業園F棟101;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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