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龍圖騰網(wǎng)獲悉芯盟科技有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利晶圓清洗設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114242622B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202111535660.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)晶圓清洗設(shè)備是由邢程;武敬勛;孫鵬設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-15向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本晶圓清洗設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：一種晶圓清洗設(shè)備，包括：箱體，用于承裝清洗液體和晶圓；安裝于所述箱體內(nèi)的振動(dòng)板；安裝于所述箱體內(nèi)的驅(qū)動(dòng)組件，用于在晶圓清洗過(guò)程中，驅(qū)動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)；與所述驅(qū)動(dòng)組件連接的壓電組件，用于從所述驅(qū)動(dòng)組件獲取壓力信號(hào)；以及與所述箱體連通的浮球液位監(jiān)測(cè)組件，用于監(jiān)測(cè)所述清洗液體的液位。通過(guò)力學(xué)原理形成對(duì)應(yīng)的監(jiān)測(cè)組件，能夠有效對(duì)所述晶圓位置和液面高度進(jìn)行監(jiān)測(cè)，避免了采用光學(xué)、磁場(chǎng)和電場(chǎng)的監(jiān)測(cè)時(shí)金屬平坦化后晶圓表面造成腐蝕。

本發(fā)明授權(quán)晶圓清洗設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種晶圓清洗設(shè)備，其特征在于，包括： 箱體，用于承裝清洗液體和晶圓； 安裝于所述箱體內(nèi)的振動(dòng)板； 安裝于所述箱體內(nèi)的驅(qū)動(dòng)組件，用于在晶圓清洗過(guò)程中，驅(qū)動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)； 與所述驅(qū)動(dòng)組件連接的壓電組件，用于從所述驅(qū)動(dòng)組件獲取壓力信號(hào)；以及 與所述箱體連通的浮球液位監(jiān)測(cè)組件，用于監(jiān)測(cè)所述清洗液體的液位；其中， 所述驅(qū)動(dòng)組件包括：主動(dòng)輪和從動(dòng)輪； 所述壓電組件包括：固定于所述箱體外側(cè)壁上的盒體；傳動(dòng)桿，包括相對(duì)垂直的第一段和第二段，所述第一段穿過(guò)所述箱體側(cè)壁，且所述第一段的端部與所述從動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第二段的端部與所述盒體轉(zhuǎn)動(dòng)連接；以及安裝于所述盒體內(nèi)的壓電陶瓷，所述第一段和所述第二段的轉(zhuǎn)接處與所述壓電陶瓷的表面接觸。

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