意法半導體股份有限公司D·朱斯蒂獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉意法半導體股份有限公司申請的專利具有變形傳感器的壓電致動器及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113620233B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110492170.6,技術領域涉及:B81B3/00;該發明授權具有變形傳感器的壓電致動器及其制造方法是由D·朱斯蒂;C·L·佩瑞里尼;M·費雷拉;C·M·拉扎里;L·塞吉齊;N·博尼;R·卡爾米納蒂;F·夸利亞設計研發完成,并于2021-05-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有變形傳感器的壓電致動器及其制造方法在說明書摘要公布了:MEMS致動器由以下部件形成:基底,圍繞腔體;可變形結構,懸置在腔體上;致動結構,由第一壓電材料的第一壓電區域形成,由可變形結構支撐并且被配置為引起可變形結構的變形;以及檢測結構,由第二壓電材料的第二壓電區域形成,由可變形結構支撐并且被配置為檢測可變形結構的變形。
本發明授權具有變形傳感器的壓電致動器及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種微機電結構MEMS致動器,包括: 基底,圍繞腔體; 可變形結構,懸置在所述腔體上; 致動結構,其包括: 第一壓電材料的第一壓電區域,由所述可變形結構支撐并且被配置為引起所述可變形結構的變形;以及 檢測結構,其包括: 第二壓電材料的第二壓電區域,由所述可變形結構支撐并且被配置為檢測所述可變形結構的所述變形,其中所述檢測結構包括在所述致動結構上的測試檢測結構。
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